[实用新型]一种双气源气动系统有效
| 申请号： | 201921950276.0 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN211082456U | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 曹建锋 | 申请（专利权）人： | 和舰芯片制造（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | F15B21/00 | 分类号： | F15B21/00;F15B15/20;F17D3/01 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 杨帆 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 双气源 气动 系统 | ||
1.一种双气源气动系统，其特征在于，
包括气动控制系统和气动冷却系统；
所述气动控制系统与第一气源(1)连通，所述气动冷却系统(8)与第二气源连通(10)。
2.根据权利要求1所述的双气源气动系统，其特征在于，
所述气动控制系统包含第一气动控制器(4)以及第二气动控制器(5)。
3.根据权利要求2所述的双气源气动系统，其特征在于，
所述第二气动控制器(5)分别与主反应腔传送系统(6)以及传送腔传送系统(7)连接。
4.根据权利要求3所述的双气源气动系统，其特征在于，
所述主反应腔传送系统(6)包含依次连接的主反应腔、背压系统以及传送系统；以及，
所述传送腔传送系统(7)包含依次连接的传送腔以及传送系统。
5.根据权利要求4所述的双气源气动系统，其特征在于，
所述气动冷却系统(8)包含真空腔的上电极和腔壁的温度控制器。
6.根据权利要求5所述的双气源气动系统，其特征在于，
所述气动冷却系统(8)位于机台末端，为开路常通的泄压状态。
7.根据权利要求5或6所述的双气源气动系统，其特征在于，
所述第二气动控制器(5)与所述主反应腔传送系统(6)之间设置电磁阀(31)。
8.根据权利要求7所述的双气源气动系统，其特征在于，
所述电磁阀(31)与所述主反应腔传送系统(6)之间设置气动阀(32)和真空隔离阀(33)。
9.根据权利要求8所述的双气源气动系统，其特征在于，
所述气动阀(32)为5/32寸接头，所述真空隔离阀(33)为1/4寸接头。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于和舰芯片制造（苏州）股份有限公司，未经和舰芯片制造（苏州）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921950276.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
F15B 一般流体工作系统；流体压力执行机构，如伺服马达；不包含在其他类目中的流体压力系统的零部件
F15B21-00 流体致动系统的共有特征；不包含在本小类其他各组中的流体压力致动系统或其部件
F15B21-02 .来自存储或定时装置的程序控制的伺服马达系统；所用的控制装置
F15B21-04 .同流体性能有关的各种专门措施，例如，排气、黏度变化的补偿、冷却、过滤、预防涡流
F15B21-06 .特殊流体的利用，例如液体金属；使用上述流体的流体压力系统的特殊利用及其控制部件
F15B21-08 .包括电控设备的伺服马达系统
F15B21-10 .延迟装置或设备
