[实用新型]一种检测设备

权利要求书

1.一种检测设备，其特征在于，所述检测设备包括：

第一检测系统，用于在待测物表面形成第一检测区，所述第一检测区为条形；

第二检测系统，用于在所述待测物表面形成第二检测区；

第三检测系统，用于在所述待测物表面形成第三检测区，所述第二检测区和第三检测区分别位于所述第一检测区的延伸方向所在直线的两侧；

驱动装置，用于带动所述待测物沿垂直于所述第一检测区的延伸方向相对于所述第一检测系统平移，并用于带动所述待测物绕垂直于其待测区的轴线相对于所述第二检测系统和所述第三检测系统旋转。

2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，在沿所述第一检测区的延伸方向上，所述第一检测区的长度大于或等于所述待测物的待测区的最大尺寸。

3.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第二检测区为线形，所述第二检测区的延伸方向垂直于所述第一检测区的延伸方向；和/或，所述第三检测区为线形，所述第三检测区的延伸方向垂直于所述第一检测区的延伸方向。

4.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一检测区的中心、所述第二检测区的中心与所述第三检测区的中心共线。

5.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第二检测区与所述第一检测区之间的间距小于或等于所述待测区沿所述间距方向的最大尺寸的一半；所述第三检测区与所述第一检测区之间的间距小于或等于所述待测区沿所述间距方向的最大尺寸的一半。

6.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第二检测区与所述第三检测区关于所述第一检测区对称。

7.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述待测物的待测区为圆形。

8.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一检测系统、所述第二检测系统和所述第三检测系统的位置相对固定。

9.根据权利要求1-8任一项所述的检测设备，其特征在于，所述第一检测系统包括：

第一照明装置，用于向待测物表面发射第一检测光，从而在待测物表面形成第一光斑，所述第一光斑为条形，所述第一光斑的延伸方向平行于所述第一检测区的延伸方向，所述第一检测光经待测物表面散射或反射形成第一信号光；

第一探测装置，用于接收所述第一信号光，所述第一探测装置的视场覆盖所述第一检测区。

10.根据权利要求9所述的检测设备，其特征在于，所述第一探测装置包括多个第一探测器，所述多个第一探测器的检测区沿所述第一检测区的延伸方向依次排列形成所述第一检测区。

11.根据权利要求1-8任一项所述的检测设备，其特征在于，所述第二检测系统为散射检测系统、共聚焦检测系统、白光干涉检测系统、反射光谱检测系统、微分相移干涉检测系统或椭偏仪检测系统；所述第三检测系统为散射检测系统、共聚焦检测系统、白光干涉检测系统、反射光谱检测系统、微分相移干涉检测系统或椭偏仪检测系统。

12.根据权利要求1-8任一项所述的检测设备，其特征在于，所述第一检测系统为散射检测系统，所述第二检测系统为散射检测系统；所述第二检测系统的照明装置的亮度高于所述第一检测系统的照明装置的亮度，所述第二检测系统的探测装置的分辨率高于所述第一检测系统的探测装置的分辨率。

13.根据权利要求1-8任一项所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括控制系统，用于在利用所述第一检测系统对待测物进行检测时，控制所述驱动装置带动所述待测物沿垂直于所述第一检测区的延伸方向平移，还用于在利用所述第二检测系统对待测物进行检测时，控制所述驱动装置带动所述待测物沿垂直于第一检测区的延伸方向平移的同时绕垂直于其待测区的轴线旋转，还用于在利用第三检测系统对待测物进行检测时，控制所述驱动装置带动所述待测物沿垂直于第一检测区的延伸方向平移的同时绕垂直于其待测区的轴线旋转。