[实用新型]一种用于计量长度的干涉仪

说明书

本实用新型为一种用于计量长度的干涉仪，包括支撑板和测量部件，测量部件安装在支撑板顶部，测量部件包括分光组件、滑台和测量镜，分光组件的后方设有限位台，分光组件和限位台之间设有螺杆，螺杆的两端与分光组件和限位台转动连接，螺杆外侧设有导轨，滑台套设在导轨上，滑台的中心与螺杆螺纹连接，测量镜安装在滑台顶部的前方，限位台朝分光组件一侧的壁面上安装有固定杆，固定杆前端套接有环形的磁铁，固定杆外侧设有与磁铁相吸的凸轮，凸轮通过磁性与磁铁转动连接，本装置确保测量镜移动的距离和被测物件的长度相同，大大提高了测量镜的移动距离的精确度，提高了测量数据的准确性，减小了测量误差。

技术领域

本实用新型涉及属于干涉仪技术领域，特别涉及一种用于计量长度的干涉仪。

背景技术

大多数测量长度的激光干涉仪，其光学系统都是改进型的双光束迈克尔逊干涉体系，干涉仪的一臂(参考镜)固定，另一臂(测量镜)同被测物件联结在一起，当测量镜同被测物件沿光线方向移动时，干涉仪两臂的光程差不断变化，测量镜每移动λ/2的距离时，两臂的光程差变化一个波长，干涉条纹移动一条。因此只要精确测定条纹移动数，就可以算出测量镜的移动距离，从而获得被测物件的长度。但是，单靠肉眼观测，无法保证出测量镜是否移动了一个被测物件的长度的距离，容易影响测量数据，造成测量误差。

发明内容

鉴以此，本实用新型提供了一种用于计量长度的干涉仪，确保测量镜移动的距离和被测物件的长度相同，大大提高了测量镜的移动距离的精确度，提高了测量数据的准确性，减小了测量误差。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

本实用新型提供了一种用于计量长度的干涉仪，包括支撑板和测量部件，所述测量部件安装在所述支撑板顶部，所述测量部件包括分光组件、滑台和测量镜，所述分光组件的后方设有限位台，所述分光组件和所述限位台之间设有螺杆，所述螺杆的两端与所述分光组件和限位台转动连接，所述螺杆外侧设有导轨，所述滑台套设在所述导轨上，所述滑台的中心与所述螺杆螺纹连接，所述测量镜安装在所述滑台顶部的前方，所述限位台朝所述分光组件一侧的壁面上安装有固定杆，所述固定杆前端套接有环形的磁铁，所述固定杆外侧设有与所述磁铁相吸的凸轮，所述凸轮通过磁性与所述磁铁转动连接。

优选的，所述分光组件包括承台、分光板和补偿板，所述承台安装在所述支撑板的顶部，所述螺杆的一端与所述承台的侧壁转动连接，所述分光板和补偿板相互平行的安装在所述承台的顶部，所述分光板和补偿板均与所述承台成 45°角。

优选的，所述测量部件还包括发光源、观察屏和参考镜，所述发光源安装在所述承台的左侧，所述参考镜安装在所述承台的右侧，所述观察屏安装在所述承台的前方。

优选的，所述承台的前端设有第一旋钮，所述第一旋钮通过连接件穿过所述承台与所述螺杆同轴连接。

优选的，所述限位台的上方设有顶板，所述限位台和所述顶板之间设有可上下活动的滑动机构，所述固定杆与所述滑动机构连接。

优选的，所述滑动机构包括转轴、导向杆和滑块，所述转轴安装在所述限位台和所述顶板的中心，所述转轴与所述限位台和所述顶板转动连接，所述导向杆所述转轴外壁面设有螺纹，所述导向杆安装在所述限位台和所述顶板之间，所述导向杆位于所述转轴的两端，所述滑块套设在所述转轴和导向杆上，所述滑块与所述导向杆滑动连接，所述滑块与所述转轴通过螺纹连接。

优选的，所述顶板的上方设有第二旋钮，所述第二旋钮通过连接件穿过所述顶板与所述转轴同轴连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：