[实用新型]一种用于计量长度的干涉仪

权利要求书

1.一种用于计量长度的干涉仪，包括支撑板和测量部件，其特征在于，所述测量部件安装在所述支撑板顶部，所述测量部件包括分光组件、滑台和测量镜，所述分光组件的后方设有限位台，所述分光组件和所述限位台之间设有螺杆，所述螺杆的两端与所述分光组件和限位台转动连接，所述螺杆外侧设有导轨，所述滑台套设在所述导轨上，所述滑台的中心与所述螺杆螺纹连接，所述测量镜安装在所述滑台顶部的前方，所述限位台朝所述分光组件一侧的壁面上安装有固定杆，所述固定杆前端套接有环形的磁铁，所述固定杆外侧设有与所述磁铁相吸的凸轮，所述凸轮通过磁性与所述磁铁转动连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于计量长度的干涉仪，其特征在于，所述分光组件包括承台、分光板和补偿板，所述承台安装在所述支撑板的顶部，所述螺杆的一端与所述承台的侧壁转动连接，所述分光板和补偿板相互平行的安装在所述承台的顶部，所述分光板和补偿板均与所述承台成45°角。

3.根据权利要求2所述的一种用于计量长度的干涉仪，其特征在于，所述测量部件还包括发光源、观察屏和参考镜，所述发光源安装在所述承台的左侧，所述参考镜安装在所述承台的右侧，所述观察屏安装在所述承台的前方。

4.根据权利要求2所述的一种用于计量长度的干涉仪，其特征在于，所述承台的前端设有第一旋钮，所述第一旋钮通过连接件穿过所述承台与所述螺杆同轴连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于计量长度的干涉仪，其特征在于，所述限位台的上方设有顶板，所述限位台和所述顶板之间设有可上下活动的滑动机构，所述固定杆与所述滑动机构连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于计量长度的干涉仪，其特征在于，所述滑动机构包括转轴、导向杆和滑块，所述转轴安装在所述限位台和所述顶板的中心，所述转轴与所述限位台和所述顶板转动连接，所述导向杆所述转轴外壁面设有螺纹，所述导向杆安装在所述限位台和所述顶板之间，所述导向杆位于所述转轴的两端，所述滑块套设在所述转轴和导向杆上，所述滑块与所述导向杆滑动连接，所述滑块与所述转轴通过螺纹连接。

7.根据权利要求6所述的一种用于计量长度的干涉仪，其特征在于，所述顶板的上方设有第二旋钮，所述第二旋钮通过连接件穿过所述顶板与所述转轴同轴连接。