[实用新型]一种具防粘黏涂层的晶圆级封装芯片接合膜有效
申请号: | 201921909124.6 | 申请日: | 2019-11-07 |
公开(公告)号: | CN211170549U | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
发明(设计)人: | 伍得;廖述杭;吕志聪;苏峻兴 | 申请(专利权)人: | 武汉市三选科技有限公司 |
主分类号: | C09J7/10 | 分类号: | C09J7/10;H01L21/683 |
代理公司: | 武汉华强专利代理事务所(普通合伙) 42237 | 代理人: | 温珊姗 |
地址: | 430070 湖北省武汉市东湖新技术开*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具防粘黏 涂层 晶圆级 封装 芯片 接合 | ||
1.一种具防粘黏涂层的晶圆级封装芯片接合膜,其特征是:
该半导体晶圆封装膜为多层结构,依次包括离型层、封装胶层、防静电结合胶层、切割胶层、树脂胶层,封装胶层形成于离型层之可剥离面上。
2.如权利要求1所述的具防粘黏涂层的晶圆级封装芯片接合膜,其特征是:
所述离型层厚度为5~300微米。
3.如权利要求1所述的具防粘黏涂层的晶圆级封装芯片接合膜,其特征是:
所述封装胶层为热固性树脂封装胶层。
4.如权利要求1所述的具防粘黏涂层的晶圆级封装芯片接合膜,其特征是:
所述封装胶层厚度为5~40微米。
5.如权利要求1所述的具防粘黏涂层的晶圆级封装芯片接合膜,其特征是:
所述防静电结合胶层为UV或非UV防静电胶层。
6.如权利要求1所述的具防粘黏涂层的晶圆级封装芯片接合膜,其特征是:
所述防静电结合胶层采用AS-PSA防静电胶带。
7.如权利要求1所述的具防粘黏涂层的晶圆级封装芯片接合膜,其特征是:
所述切割胶层为TPU胶层。
8.如权利要求1所述的具防粘黏涂层的晶圆级封装芯片接合膜,其特征是:
所述树脂胶层为PU树脂胶层或亚克力树脂胶层。
9.如权利要求1所述的具防粘黏涂层的晶圆级封装芯片接合膜,其特征是:
所述树脂胶层厚度为5~10微米。
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