[实用新型]一种用于单晶硅切片的研磨装置

权利要求书

1.一种用于单晶硅切片的研磨装置，包括支腿(1)，其特征在于：所述支腿(1)的顶部固定安装有工作台(20)，所述工作台(20)顶部的中部固定安装有研磨台(21)，所述研磨台(21)内部的中部开设有集水腔(22)，所述研磨台(21)的顶部开设有过水孔(23)，所述工作台(20)顶部的左右两侧固定安装有位于研磨台(21)左右两侧的固定座(19)，所述固定座(19)外侧面的中部开设有通孔(25)，所述固定座(19)顶部的中部开设有螺纹孔(24)，所述通孔(25)的内部活动套接有第二连接板(18)，所述螺纹孔(24)的内侧面螺纹连接有螺杆(17)，所述第二连接板(18)的内侧端固定安装有固定板(8)，所述工作台(20)顶部的后侧固定安装有支板(12)，所述支板(12)前侧面的顶端固定安装有第一连接板(13)，所述第一连接板(13)的底部固定安装有位于研磨台(21)正上方的电动气缸(14)，所述电动气缸(14)伸缩杆的底部固定安装有电机箱(15)，所述电机箱(15)的内部固定安装有电机(27)，所述电机(27)转动轴的底端固定安装有研磨盘(16)，所述研磨台(21)的底部固定连通有第一连管(28)，所述第一连管(28)的底端固定连通有过滤盒(2)，所述过滤盒(2)的内部固定安装有滤网(26)，所述过滤盒(2)的底部固定连通有第二连管(4)，所述第二连管(4)的底端固定连接有集水箱(3)，所述集水箱(3)的右侧面固定连通有抽水管(5)，所述抽水管(5)的右端固定连接有水泵(6)，所述水泵(6)的出水端固定连接有送水管(7)，所述送水管(7)的顶端固定连接有喷水管(11)，所述工作台(20)顶部的右侧固定安装有支撑板(10)，所述支撑板(10)的右侧面及顶部均固定安装有固定环(9)，所述工作台(20)的顶部开设有位于支撑板(10)右侧的固定孔，所述送水管(7)与固定孔以及固定环(9)固定套接。

2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅切片的研磨装置，其特征在于：所述第二连接板(18)的顶部固定安装有垫片。

3.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅切片的研磨装置，其特征在于：所述研磨台(21)的顶部固定安装有延伸边(29)，所述延伸边(29)的顶部位于固定板(8)底部的下方。

4.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅切片的研磨装置，其特征在于：所述研磨台(21)与研磨盘(16)的底面形状皆为圆形，所述研磨盘(16)底面圆的直径小于研磨台(21)底面圆的直径。

5.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅切片的研磨装置，其特征在于：所述支撑板(10)的形状为‘7’字状。