[实用新型]改善了散热性的探针卡用空间变换部

说明书

本实用新型涉及改善了散热性的探针卡用空间变换部，所述空间变换部用于接触检查所需的探针卡的电极再配线，所述改善了散热性的探针卡用空间变换部的特征在于，包括：第一绝缘部，其由非导电性材质构成；第一电极焊盘，其形成于所述第一绝缘部上部；第一通孔，其由导电性材质形成，且埋设于所述第一电极焊盘的下部位置的所述第一绝缘部；第一配线部，其一侧与所述第一通孔连接，向另一侧较长地延长；以及第二通孔，其在所述第一配线部的下部位置连接，且由导电性材质形成，所述第二通孔与所述第一配线部另一端的间距大于所述第一通孔与所述第一配线部一端的间距。

技术领域

本实用新型涉及改善了散热性的探针卡用空间变换部。

背景技术

如图1及图2所示，在用于接触检查所需的探针卡的电极再配线的空间变换部10，空间变换部10包括的第一配线部410的一侧连接于第一通孔310，另一侧连接于第二通孔320。

另外，第二配线部420的一侧连接于第三通孔330，另一侧连接于第四通孔340。

这种第一配线部410的长度X1由第一通孔310及第二通孔320的间距决定，第二配线部420的长度X2由第三通孔330及第四通孔340的间距决定。

但是，第一配线部410的长度X1及第二配线部420的长度X2为了达成电极再配线的目的，第一通孔310及第二通孔320的间距与第三通孔330及第四通孔340的间距不能相同。

因此，第一配线部410的长度X1及第二配线部420的长度X2一般相异地设计。

最近，当探针卡执行200℃以上的加热检查时，存在第一绝缘部110发生物性变化的问题。

这种物性变化导致减小第一绝缘部110与第二绝缘部120间的结合力，或减小第一配线部410、第二配线部420、第一通孔310、第二通孔320、第一电极焊盘210及第二电极焊盘220中任意一个以上与第一绝缘部110间的结合力，检查时存在接触对齐错位的问题，严重时，部件间的电接触被分离，因而存在导致无法正常执行检查的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种改善了散热性的探针卡用空间变换部。

为了达到上述目的，本实用新型采用如下的技术方案。

本实用新型的实施例的改善了散热性的探针卡用空间变换部用于接触检查所需的探针卡的电极再配线，所述改善了散热性的探针卡用空间变换部的特征在于，包括：第一绝缘部，其由非导电性材质构成；第一电极焊盘，其形成于所述第一绝缘部上部；第一通孔，其由导电性材质形成，且埋设于所述第一电极焊盘的下部位置的所述第一绝缘部；第一配线部，其一侧与所述第一通孔连接，向另一侧较长地延长；以及第二通孔，其在所述第一配线部的下部位置连接，且由导电性材质形成，所述第二通孔与所述第一配线部另一端的间距大于所述第一通孔与所述第一配线部一端的间距。

本实用新型的改善了散热性的探针卡用空间变换部包括：第二电极焊盘，其与所述第一电极焊盘隔开，形成于所述第一绝缘部上部；第三通孔，其由导电性材质形成，且埋设于所述第二电极焊盘的下部位置的所述第一绝缘部；第二配线部，其一侧与所述第三通孔连接，向另一侧较长地延长；以及第四通孔，其在所述第二配线部的下部位置连接，且由导电性材质形成，所述第二通孔与所述第二配线部另一端的间距大于所述第三通孔与所述第二配线部一端的间距，所述第一配线部的长度与所述第二配线部的长度相同。

在本实用新型的改善了散热性的探针卡用空间变换部，所述第一绝缘部由聚酰亚胺材质构成。

本实用新型的改善了散热性的探针卡用空间变换部包括第二绝缘部，其形成于所述第一绝缘部下部，且埋设所述第二通孔及所述第四通孔，由非导电性材质构成。

本实用新型的改善了散热性的探针卡用空间变换部包括第三绝缘部，其形成于所述第二绝缘部下部，由非导电性材质构成。