[实用新型]改善了散热性的探针卡用空间变换部

权利要求书

1.一种改善了散热性的探针卡用空间变换部，该空间变换部用于接触检查所需的探针卡的电极再配线，其特征在于，包括：

第一绝缘部，其由非导电性材质构成；

第一电极焊盘，其形成于所述第一绝缘部上部；

第一通孔，其由导电性材质形成，且埋设于所述第一电极焊盘的下部位置的所述第一绝缘部；

第一配线部，其一侧与所述第一通孔连接，向另一侧较长地延长；以及

第二通孔，其在所述第一配线部的下部位置连接，且由导电性材质形成，

所述第二通孔与所述第一配线部另一端的间距大于所述第一通孔与所述第一配线部一端的间距。

2.根据权利要求1所述的改善了散热性的探针卡用空间变换部，其特征在于，

包括：

第二电极焊盘，其与所述第一电极焊盘隔开，形成于所述第一绝缘部上部；

第三通孔，其由导电性材质形成，且埋设于所述第二电极焊盘的下部位置的所述第一绝缘部；

第二配线部，其一侧与所述第三通孔连接，向另一侧较长地延长；以及

第四通孔，其在所述第二配线部的下部位置连接，且由导电性材质形成，

所述第二通孔与所述第二配线部另一端的间距大于所述第三通孔与所述第二配线部一端的间距，

所述第一配线部的长度与所述第二配线部的长度相同。

3.根据权利要求2所述的改善了散热性的探针卡用空间变换部，其特征在于，

所述第一绝缘部由聚酰亚胺材质构成。

4.根据权利要求3所述的改善了散热性的探针卡用空间变换部，其特征在于，

包括第二绝缘部，其形成于所述第一绝缘部下部，且埋设所述第二通孔及所述第四通孔，由非导电性材质构成。

5.根据权利要求4所述的改善了散热性的探针卡用空间变换部，其特征在于，

包括第三绝缘部，其形成于所述第二绝缘部下部，由非导电性材质构成。

6.根据权利要求5所述的改善了散热性的探针卡用空间变换部，其特征在于，

所述第三绝缘部以多层构成，其中最下层由陶瓷材质构成。

7.根据权利要求2所述的改善了散热性的探针卡用空间变换部，其特征在于，

在所述第一电极焊盘及所述第二电极焊盘上部，由焊接工序附着探针。