[实用新型]一种半导体结构有效
| 申请号: | 201921863358.1 | 申请日: | 2019-10-31 |
| 公开(公告)号: | CN210429825U | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
| 发明(设计)人: | 程凯;刘凯 | 申请(专利权)人: | 苏州晶湛半导体有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/20;H01L21/02 |
| 代理公司: | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人: | 李浩 |
| 地址: | 215123 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 结构 | ||
【权利要求书】:
1.一种半导体结构,其特征在于,包括:
立方体硅(110)衬底,所述立方体硅(110)衬底的一个表面包括多个矩形的子表面,相邻的两个所述子表面之间设置有隔离带;以及
形成在所述子表面上的氮化物半导体层。
2.根据权利要求1所述的半导体结构,其特征在于,所述氮化物半导体层采用的材料包括AlN、GaN或AlGaN。
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