[实用新型]一种窄尺寸矩阵沟槽栅极结构有效
| 申请号： | 201921833038.1 | 申请日： | 2019-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN211208451U | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 王西政 | 申请（专利权）人： | 无锡和达创芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L29/06 |
| 代理公司： | 无锡嘉驰知识产权代理事务所(普通合伙) 32388 | 代理人： | 盛际丰 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 矩阵 沟槽 栅极 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种窄尺寸矩阵沟槽栅极结构，其特征在于，所述栅极结构的栅极接触区有由多个沟槽形成的沟槽矩阵，所述沟槽矩阵包含至少2个并排沟槽，所述沟槽宽度为0.8-1.0um，所述沟槽内填充多晶，所述栅极结构还包含栅极接触孔，所述栅极接触孔位于沟槽内的多晶上，所述栅极接触孔组成小孔矩阵，所述栅极接触孔是宽度为0.4-0.6um的条形孔。
2.根据权利要求1所述的一种窄尺寸矩阵沟槽栅极结构，其特征在于，所述沟槽矩阵中有3个并排沟槽。
3.根据权利要求1或2所述的一种窄尺寸矩阵沟槽栅极结构，其特征在于，所述沟槽是宽为0.8um的条形沟槽。
4.根据权利要求1所述的一种窄尺寸矩阵沟槽栅极结构，其特征在于，所述栅极接触孔的个数为每个沟槽至少含有一个栅极接触孔。
5.根据权利要求1或4所述的一种窄尺寸矩阵沟槽栅极结构，其特征在于，所述栅极接触孔的宽为0.4um。
6.根据权利要求1所述的一种窄尺寸矩阵沟槽栅极结构，其特征在于，栅极接触区有由3个并排，宽都是0.8um条形沟槽形成的沟槽矩阵；所述栅极接触孔并排有3个，宽为0.4um，构成小孔矩阵。
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