[实用新型]真空镀膜的真空组件以及真空镀膜设备

权利要求书

1.真空镀膜的真空组件，用于在真空设备的阴极门和真空箱体之间建立可分离的真空管路，其特征在于，包括：

固定端管路，包括与所述真空箱体连接的固定端支架和固定端真空管，所述固定端支架设有朝向所述阴极门的固定端法兰，所述固定端真空管的端部的外缘与所述固定端法兰的内缘密封配合；

分离端管路，包括与所述阴极门连接的分离端支架和分离端真空管，所述分离端支架设有朝向所述固定端法兰的分离端法兰，所述分离端真空管的端部的外缘与所述分离端法兰的内缘密封配合；

所述分离端支架上设有调平机构，所述调平机构用于调整所述分离端法兰相对于所述固定端法兰的空间位置和姿态，所述分离端法兰和所述固定端法兰之间设有对正机构。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜的真空组件，其特征在于，所述调平机构包括在所述分离端法兰的周向上设置的至少三个固定件。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜的真空组件，其特征在于，所述固定件包括：

紧固件，将所述分离端法兰和所述分离端支架保持在凑近状态；

压簧，绕设在所述紧固件上并抵压在所述分离端法兰和所述分离端支架之间。

4.根据权利要求2所述的真空镀膜的真空组件，其特征在于，所述固定件设有三个且两两之间间距相等。

5.根据权利要求2所述的真空镀膜的真空组件，其特征在于，所述分离端支架还包括：

第一支架，用于安装所述固定件并安装所述分离端法兰；

第二支架，用于夹持所述分离端真空管。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜的真空组件，其特征在于，所述固定端支架还包括支架底座，所述支架底座与所述真空箱体连接；在所述分离端法兰向所述固定端法兰靠近的方向上，所述支架底座位于所述固定端法兰背向所述分离端法兰的一侧，所述支架底座和所述固定端法兰之间设有多根支撑杆。

7.根据权利要求1所述的真空镀膜的真空组件，其特征在于，所述对正机构包括：

对正销，设置在所述分离端法兰上朝向所述固定端法兰的侧面上；

对正孔，设置在所述固定端法兰上用于收容所述对正销。

8.根据权利要求7所述的真空镀膜的真空组件，其特征在于，所述对正销远离所述分离端法兰的一端设有与所述对正孔配合的引导部。

9.根据权利要求7所述的真空镀膜的真空组件，其特征在于，所述对正机构至少包括三个所述对正销，所述对正孔的数量与所述对正销的数量一致且位置相互对应。

10.真空镀膜设备，包括真空管路，其特征在于，所述真空管路上设有如权利要求1至9所述的真空镀膜的真空组件。