[实用新型]一种光学镀膜用工件安装装置

说明书

本实用新型公开了一种光学镀膜用工件安装装置，包括镀膜机机箱，镀膜机机箱的底端安装有控制箱，控制箱的一侧安装有电源开关，镀膜机机箱的顶端安装有抽真空装置，镀膜机机箱的一侧安装有冷凝箱，另一侧安装有加热器，该镀膜件固定装置能适应不同大小尺寸的镀膜件，在安装工件的时候，简单便捷，提高效率，对镀膜件的固定十分牢固，不会出现脱落的现象，该镀膜机在拆装的时候，无需在真空室内进行安装，降低拆装难度，该镀膜件固定装置的底部安装有可以旋转的坩埚固定板，可以对工件进行不同材料的镀膜，灵活性强，该镀膜件固定装置在镀膜的过程中可以360度旋转，让镀膜件的侧边能实现快速镀膜，提高镀膜效率，节约时间。

技术领域

本实用新型涉及光学镀膜领域，具体为一种光学镀膜用工件安装装置。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法。真空镀膜需要真空镀膜机进行镀膜，而真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。现有的镀膜机在安装工件的时候，不仅繁琐，而且浪费很多时间，降低镀膜的效率，而且镀膜件容易出行脱落和掉落的现象；现有的镀膜机在对镀膜件进行安装的时候容易受到镀膜机箱两侧内壁的影响，增加拆装镀膜件的难度；现有的镀膜机的坩埚托盘往往是固定不动的，不能给镀膜件镀不同材料的膜，灵活性差，现有的镀膜件固定装置在镀膜的时候不能实现自动旋转，不能对镀膜件的侧边进行镀膜，镀膜效率低，现有的镀膜件固定装置不能适应不同大小尺寸的镀膜件。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种光学镀膜用工件安装装置，以解决上述背景技术提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光学镀膜用工件安装装置，包括镀膜机机箱，所述镀膜机机箱的底端安装有控制箱，所述控制箱的一侧安装有电源开关，所述镀膜机机箱的顶端安装有抽真空装置，所述镀膜机机箱的一侧安装有冷凝箱，另一侧安装有加热器，所述镀膜机机箱的背面安装有电子枪，所述电子枪的底部安装有伸缩杆固定箱，所述伸缩杆固定箱内安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的一端安装有镀膜架，所述镀膜架的顶端四个拐角处均焊接有固定杆，所述固定杆上焊接有连接板，所述连接板上安装有第一齿轮箱，所述第一齿轮箱的顶部安装有第一电机，所述第一齿轮箱的一侧安装有连接杆，所述连接杆的一端焊接有底板，所述底板的顶端四个拐角处均焊接有螺纹杆，所述螺纹杆上活动连接有顶板，所述螺纹杆上螺纹连接有螺帽，所述底板的一端通过连接杆连接有轴承，所述镀膜架的底端中部安装有第二电机，所述第二电机的顶端安装有第二齿轮箱，所述第二齿轮箱的顶端连接有转轴，所述转轴的顶端焊接有坩埚固定板，所述镀膜架的底端两侧均焊接有活动销，所述镀膜机机箱内部设有真空腔，所述真空腔的底端设有活动槽。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述镀膜机机箱上安装有密封门，所述镀膜机机箱的底端四个拐角处均焊接有支撑腿，所述密封门通过铰链和密封垫与所述镀膜机机箱固定相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述伸缩杆固定箱通过螺栓和密封垫固定在所述镀膜机机箱的背面上，所述电动伸缩杆通过螺栓固定在所述伸缩杆固定箱上，所述镀膜架与所述电动伸缩杆通过螺栓固定相连，所述镀膜架通过活动销与所述真空腔内的活动槽活动相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述抽真空装置、冷凝箱、加热器和电子枪均通过螺栓固定在所述镀膜机机箱上，所述抽真空装置包括机械泵、罗茨泵和扩散泵，所述电子枪上设有正负两极，所述冷凝箱内设有冷凝器、水箱和冷凝管。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第二电机通过螺栓固定在所述镀膜架的底部上，所述第二齿轮箱通过螺栓固定在所述镀膜架的顶部上，所述坩埚固定板通过转轴与所述第二齿轮箱相连。