[实用新型]一种光学镀膜用工件安装装置有效

专利信息
申请号: 201921815600.8 申请日: 2019-10-28
公开(公告)号: CN210560728U 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 陈晓东 申请(专利权)人: 常州鑫立离子技术有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/30
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213114 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 光学 镀膜 用工 安装 装置
【权利要求书】:

1.一种光学镀膜用工件安装装置,包括镀膜机机箱(1),其特征在于:所述镀膜机机箱(1)的底端安装有控制箱(9),所述控制箱(9)的一侧安装有电源开关(10),所述镀膜机机箱(1)的顶端安装有抽真空装置(3),所述镀膜机机箱(1)的一侧安装有冷凝箱(4),另一侧安装有加热器(5),所述镀膜机机箱(1)的背面安装有电子枪(6),所述电子枪(6)的底部安装有伸缩杆固定箱(7),所述伸缩杆固定箱(7)内安装有电动伸缩杆(14),所述电动伸缩杆(14)的一端安装有镀膜架(13),所述镀膜架(13)的顶端四个拐角处均焊接有固定杆(15),所述固定杆(15)上焊接有连接板(20),所述连接板(20)上安装有第一齿轮箱(25),所述第一齿轮箱(25)的顶部安装有第一电机(26),所述第一齿轮箱(25)的一侧安装有连接杆(28),所述连接杆(28)的一端焊接有底板(21),所述底板(21)的顶端四个拐角处均焊接有螺纹杆(23),所述螺纹杆(23)上活动连接有顶板(22),所述螺纹杆(23)上螺纹连接有螺帽(24),所述底板(21)的一端通过连接杆(28)连接有轴承(27),所述镀膜架(13)的底端中部安装有第二电机(29),所述第二电机(29)的顶端安装有第二齿轮箱(16),所述第二齿轮箱(16)的顶端连接有转轴(17),所述转轴(17)的顶端焊接有坩埚固定板(18),所述镀膜架(13)的底端两侧均焊接有活动销(19),所述镀膜机机箱(1)内部设有真空腔(2),所述真空腔(2)的底端设有活动槽(11)。

2.根据权利要求1所述的一种光学镀膜用工件安装装置,其特征在于:所述镀膜机机箱(1)上安装有密封门(12),所述镀膜机机箱(1)的底端四个拐角处均焊接有支撑腿(8),所述密封门(12)通过铰链和密封垫与所述镀膜机机箱(1)固定相连。

3.根据权利要求1所述的一种光学镀膜用工件安装装置,其特征在于:所述伸缩杆固定箱(7)通过螺栓和密封垫固定在所述镀膜机机箱(1)的背面上,所述电动伸缩杆(14)通过螺栓固定在所述伸缩杆固定箱(7)上,所述镀膜架(13)与所述电动伸缩杆(14)通过螺栓固定相连,所述镀膜架(13)通过活动销(19)与所述真空腔(2)内的活动槽(11)活动相连。

4.根据权利要求1所述的一种光学镀膜用工件安装装置,其特征在于:所述抽真空装置(3)、冷凝箱(4)、加热器(5)和电子枪(6)均通过螺栓固定在所述镀膜机机箱(1)上,所述抽真空装置(3)包括机械泵、罗茨泵和扩散泵,所述电子枪(6)上设有正负两极,所述冷凝箱(4)内设有冷凝器、水箱和冷凝管。

5.根据权利要求1所述的一种光学镀膜用工件安装装置,其特征在于:所述第二电机(29)通过螺栓固定在所述镀膜架(13)的底部上,所述第二齿轮箱(16)通过螺栓固定在所述镀膜架(13)的顶部上,所述坩埚固定板(18)通过转轴(17)与所述第二齿轮箱(16)相连。

6.根据权利要求1所述的一种光学镀膜用工件安装装置,其特征在于:所述第一齿轮箱(25)通过螺栓固定在所述镀膜架(13)一侧的连接板(20)上,所述轴承(27)通过螺栓固定在所述镀膜架(13)另一侧的连接板(20)上,所述第一电机(26)的转轴与所述第一齿轮箱(25)内的齿轮啮合相连,所述底板(21)通过连接杆(28)分别与所述轴承(27)和第一齿轮箱(25)相连。

7.根据权利要求1所述的一种光学镀膜用工件安装装置,其特征在于:所述电源开关(10)与外接电源相连,所述电源开关(10)分别与所述电动伸缩杆(14)、第一电机(26)和第二电机(29)电性连接,所述控制箱(9)分别与所述抽真空装置(3)、冷凝箱(4)、加热器(5)和电子枪(6)电性连接。

8.根据权利要求1所述的一种光学镀膜用工件安装装置,其特征在于:所述底板(21)和顶板(22)均采用304不锈钢材料制成,所述底板(21)和顶板(22)上均设有若干个通孔。

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