[实用新型]固定装置及检测设备

说明书

本实用新型公开了一种固定装置及检测设备，所述固定装置包括具包括：固定盘，具有用于固定待支撑物的盘面，所述盘面包括用于承载待支撑物的承载区；夹持机构，包括用于为所述待支撑物提供夹持固定力的夹持固定柱和至少两个定位柱，所述定位柱通过其一端可拆卸地连接于所述固定盘，并在所述固定盘的盘面上沿承载区边缘分布；所述夹持固定柱可运动地设置于所述固定盘，其能够在第一位置和第二位置之间移动；在第一位置所述夹持固定柱处于所述定位柱的分布圆周上；在第二位置，所述夹持固定柱处于所述定位柱的分布圆周的外侧。该装置可以通过边缘夹持的方式固定待支撑物，且在固定时可避免损伤待支撑物。

技术领域

本实用新型涉及半导体检测设备技术领域，尤其是在晶圆生产、检测过程中用于对晶圆进行固定的装置。本实用新型还涉及设有所述晶圆固定装置的晶圆检测设备。

背景技术

目前，在晶圆检测设备的工作过程中，需要由机械臂将晶圆从放置晶圆的片盒中取出，放置到晶圆固定装置上，而后采用真空或静电吸附等方式使晶圆固定于晶圆固定装置上。

对于常规晶圆(其背面可接触)多采用真空吸附等方式将晶圆固定于晶圆固定装置上，对于特殊需求晶圆(如晶圆正面与背面均完全不可接触，或只允许接触背面外径微小范围)则需要采用特殊固定方式固定，主要有自摩擦和伯努利两种固定方式。

对于自摩擦固定方式，在固定时需要接触晶圆背面局部微小区域，利用橡胶材质与晶圆之间的摩擦力来起到固定晶圆的作用，此方式受限于摩擦力所以在检测速度方面会受到一定影响，并且橡胶固定件与晶圆之间有灰尘等污染会对固定能力产生一定的影响。另外，橡胶老化会影响固定精度和可靠性，也是必须考虑的问题。

对于伯努利固定方式，单纯的伯努利固定利用伯努利原理开发，无需真空发生器，采用气旋方式将产品无接触式吸取，由于其在晶圆运动方向没有固定约束，所以在检测速度方面会受到很大影响，对此，业内多采用边缘限位或背部辅助固定的方式，但这样又会使得一些特殊需求晶圆无法使用。另外，此种方式对晶圆固定的稳定性较难保证。

上述两种固定方式在某些特定实施中均存在局限性，导致在晶圆后续加工及检测过程中存在不确定因素或效率降低的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种固定装置。该装置可以通过边缘夹持的方式固定待支撑物，在固定时可避免损伤待支撑物。

本实用新型的另一目的是提供一种设有所述固定装置的检测设备。

为实现上述目的，本实用新型提供一种固定装置，包括：

固定盘，具有用于固定待支撑物的盘面，所述盘面包括用于承载待支撑物的承载区；

夹持机构，包括用于为所述待支撑物提供夹持固定力的夹持固定柱和至少两个定位柱，所述定位柱通过其一端可拆卸地连接于所述固定盘，并在所述固定盘的盘面上沿承载区边缘分布；

所述夹持固定柱可运动地设置于所述固定盘，其能够在第一位置和第二位置之间移动；在第一位置所述夹持固定柱处于所述定位柱的分布圆周上；在第二位置，所述夹持固定柱处于所述定位柱的分布圆周的外侧。

优选地，还包括：支撑柱，所述支撑柱用于为所述待支撑物提供支撑力，所述夹持固定力的方向与所述支撑力的方向相交，所述支撑柱和定位柱在所述固定盘的盘面上沿圆周方向分布。

优选地，所述定位柱还可用于为所述待支撑物提供支撑力。

优选地，所述定位柱的一端设有用于对待支撑物进行径向定位的定位面，所述定位柱设有定位面的一端设有第一支撑面第二支撑面，所述支撑柱的一端设有第二支撑面，所述第一支撑面和第二支撑面用于从待支撑物边缘对待支撑物进行支撑第二支撑面。

优选地，所述定位柱的第一支撑面和支撑柱的第二支撑面位于同一平面。