[实用新型]清洁装置及晶圆清洁设备

权利要求书

1.一种清洁装置，用于清洁滚轴清洁刷，其特征在于，包括：

清洁主体，所述清洁主体内部具有第一管道，且所述清洁主体的一侧表面设置有与所述第一管道连通的第一通孔；

抽真空单元，连通至所述第一管道，用于对所述第一管道抽真空；

所述第一通孔所在的清洁主体的表面弧度与所述滚轴清洁刷的表面弧度一致，以贴合所述滚轴清洁刷的表面。

2.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁主体包括弧形清洁板，所述第一通孔设置于所述弧形清洁板的凹面，所述弧形清洁板的凹面的弧度与所述滚轴清洁刷的表面弧度一致。

3.根据权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述弧形清洁板的凹面还设置有凸起的清洁结构。

4.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁主体表面设置有多个所述第一通孔，且相邻两第一通孔之间的距离相等。

5.根据权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述弧形清洁板包括：聚四氟乙烯板、聚烯烃类氟橡胶板、亚硝基氟橡胶板、四丙氟橡胶板中的至少一种。

6.一种晶圆清洁设备，其特征在于，包括：

滚轴清洁刷，用于清洁晶圆；

如权利要求1至5中任一项所述的清洁装置；

所述滚轴清洁刷能够在晶圆与所述清洁主体之间运动，且所述清洁主体设置在所述滚轴清洁刷的运动轨迹上。

7.根据权利要求6所述的晶圆清洁设备，其特征在于，所述清洁主体包括弧形清洁板，所述弧形清洁板的凹面的弧度与所述滚轴清洁刷的表面弧度一致，且所述弧形清洁板的凹面设置有第一通孔，以及凸起的清洁结构。

8.根据权利要求6所述的晶圆清洁设备，其特征在于，所述滚轴清洁刷的数目为多个，所述清洁主体的数目与所述滚轴清洁刷的数目一致，且每一滚轴清洁刷都对应设置有一清洁主体。

9.根据权利要求6所述的晶圆清洁设备，其特征在于，所述滚轴清洁刷内部具有第二管道，且所述滚轴清洁刷表面设置有与所述第二管道连通的第二通孔；

所述的晶圆清洁设备还包括第一清洗液源，与所述第二管道连通。

10.根据权利要求6所述的晶圆清洁设备，其特征在于，还包括：

第二清洗液源；

喷嘴，连通至所述第二清洗液源，且所述喷嘴朝向待清洗的晶圆设置。