[实用新型]一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置有效
申请号: | 201921787940.4 | 申请日: | 2019-10-23 |
公开(公告)号: | CN210866141U | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 韩云霄;杨波;寇文杰 | 申请(专利权)人: | 麦斯克电子材料有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人: | 罗民健 |
地址: | 471000 河南省洛*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 背部 损伤 防止 硅片 倒角 轮廓 擦伤 装置 | ||
1.一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置,设置于背部损伤机传送带的一侧,其特征在于:包括支架和连接于支架的挡板、缓冲垫,所述支架包括缓冲平台、支撑板和固定板,所述缓冲平台、支撑板和固定板均为平板状,所述缓冲平台沿水平方向设置,所述支撑板设置为两个,两个支撑板对称连接于缓冲平台的两端,所述支撑板还连接所述固定板,所述固定板与所述缓冲平台还分别设置于支撑板的两端,所述固定板与所述支撑板相垂直,所述固定板上预留螺丝孔,所述缓冲平台连接所述缓冲垫和所述挡板,所述挡板沿竖直方向连接于所述缓冲平台的上端面,所述缓冲垫设置于所述挡板和所述传送带之间。
2.根据权利要求1所述的一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置,其特征在于:支撑架和缓冲垫靠近传送带的一端端面均设有弧面,弧面与传送带驱动滚轮的弧度相同。
3.根据权利要求2所述的一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置,其特征在于:弧面与传动带之间预留有传动间隙。
4.根据权利要求1所述的一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置,其特征在于:所述支撑板沿竖直方向设置。
5.根据权利要求1所述的一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置,其特征在于:缓冲垫顶面的水平高度还低于传动带上带面的水平高度。
6.根据权利要求1或5所述的一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置,其特征在于:所述缓冲垫为泡棉缓冲垫。
7.根据权利要求1所述的一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置,其特征在于:所述固定板还通过螺栓固定于车间地面,所述车间地面上预留供螺栓通过的螺孔,螺栓的螺纹端还穿过所述螺丝孔连接于所述螺孔。
8.根据权利要求1或7所述的一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置,其特征在于:固定板上的螺丝孔还设置为两个。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造