[实用新型]一种精度高的超精密非球面成型磨床用静压导轨

说明书

本实用新型涉及光学零件超精密加工设备技术领域，公开了一种精度高的超精密非球面成型磨床用静压导轨，包括导轨底座，导轨底座上设有工作台和压板，导轨底座上纵向开有第一滑轨、第二滑轨和第三滑轨；安装板的底面上设有第一滑块、第二滑块和第三滑块，第三滑块的底面上设有丝杠螺母座；第一滑块和第二滑块的顶面上均开有上油腔，底面上均开有下油腔，第三滑块的左侧侧壁上开有左油腔，右侧侧壁上开有右油腔；第一滑块与第一滑轨滑动连接在一起，第二滑块与第二滑轨滑动连接在一起，第三滑块与第三滑轨滑动连接在一起；压板在第一滑轨和第二滑轨的顶部均有设置；本实用新型具有运动精度高、运行平稳、可靠性强的特点。

技术领域

本实用新型涉及光学零件超精密加工设备技术领域，具体涉及一种精度高的超精密非球面成型磨床用静压导轨。

背景技术

静压导轨是一种将具有一定压力的润滑油，经节流器输入到导轨面上的油腔，进而形成承载油膜，使导轨面之间处于纯液体摩擦状态的直线往复运动导轨；相比较于传统的直线导轨，它具有导轨运动速度的变化对油膜厚度的影响很小、承重载荷的变化对油膜厚度的影响很小、液体摩檫的摩檫系数仅为0.005左右、油膜抗振性好等优点；因此，静压导轨在精密及超精密机床上的应用越来越广泛。

静压导轨大多由导轨底座、压板、静压滑块和工作台组成，其中，静压滑块是静压导轨的重要组成部分，静压滑块在静压导轨内的排布方式会影响静压导轨整体的性能；目前，用于精密及超精密机床上的静压导轨内静压滑块的布置方案主要有两种，分别是：

1、（3+3）方案：在工作台的底部两侧各安装一个开有三腔的静压滑块（如图1所示），其中，安装在工作台底部左侧的静压滑块上开有上油腔、下油腔和左油腔，安装在工作台底部右侧的静压滑块上开有上油腔、下油腔和右油腔；但是，该方案存在一定的不足：X轴方向设置的两侧腔的平行度在静压滑块的左右面之间的平行度误差、静压滑块与工作台的安装面之间的平行度误差的多级传递之后存在误差较大的问题，且因在一个静压滑块上开有三个油腔，使得热变形对静压滑块的影响较大，从而导致静压导轨的运动精度较差；

2、（4+2）方案：在工作台的底部两侧分别安装一个四腔的静压滑块和一个两腔的静压滑块（如图2所示），其中，四腔的静压滑块用于进行X和Z方向的定位，两腔的静压滑块用于辅助使用；四腔的静压滑块上开有上油腔、下油腔、左油腔和右油腔，两腔的静压滑块开有上油腔和下油腔；但是，该方案存在一定的不足，用于对X方向进行定位的左油腔和右油腔只位于活动部件一侧，会导致工作台运动时出现受力不均匀的问题，同时，随着温度的升高，两侧的热变形程度不同，因热变形产生的误差会直接影响该静压导轨的运动精度。

因此，目前急需一种高精度的用于精密及超精密机床上的静压导轨。

发明内容

有鉴于此，本实用新型提供一种精度高的超精密非球面成型磨床用静压导轨。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种精度高的超精密非球面成型磨床用静压导轨，包括导轨底座，其特征在于：所述导轨底座上设有工作台和压板，导轨底座上纵向开有第一滑轨、第二滑轨和第三滑轨，其中，第三滑轨设在导轨底座的中部，第一滑轨和第二滑轨以导轨底座的纵向中心线为对称线呈左右对称设置在导轨底座靠两侧位置；

工作台的底面上设有第一滑块、第二滑块和第三滑块，其中，第三滑块设在工作台底面的中部位置，第三滑块的底面上设有丝杠螺母座；第一滑块和第二滑块以工作台的纵向中心线为对称线呈左右对称设置在工作台底面靠两侧位置；第一滑块和第二滑块的顶面上均开有上油腔，底面上均开有下油腔，第三滑块的左侧侧壁上开有左油腔，右侧侧壁上开有右油腔；第一滑块与第一滑轨滑动连接在一起，第二滑块与第二滑轨滑动连接在一起，第三滑块与第三滑轨滑动连接在一起，工作台通过第一滑块、第二滑块、第三滑块与第一滑轨、第二滑轨、第三滑轨之间的滑动连接和导轨底座滑动连接在一起；

压板在第一滑轨和第二滑轨的顶部均有设置，压板用于限制第一滑块和第二滑块上下方向的自由度。