[实用新型]一种精度高的超精密非球面成型磨床用静压导轨

权利要求书

1.一种精度高的超精密非球面成型磨床用静压导轨，包括导轨底座（1），其特征在于：所述导轨底座（1）上设有工作台（11）和压板（12），导轨底座（1）上纵向开有第一滑轨（13）、第二滑轨（14）和第三滑轨（15），其中，第三滑轨（15）设在导轨底座（1）的中部，第一滑轨（13）和第二滑轨（14）以导轨底座（1）的纵向中心线为对称线呈左右对称设置在导轨底座（1）靠两侧位置；

工作台（11）的底面上设有第一滑块（2）、第二滑块（3）和第三滑块（8），其中，第三滑块（8）设在工作台（11）底面的中部位置，第三滑块（8）的底面上设有丝杠螺母座（9）；第一滑块（2）和第二滑块（3）以工作台（11）的纵向中心线为对称线呈左右对称设置在工作台（11）底面靠两侧位置；第一滑块（2）和第二滑块（3）的顶面上均开有上油腔（4），底面上均开有下油腔（5），第三滑块（8）的左侧侧壁上开有左油腔（6），右侧侧壁上开有右油腔（7）；第一滑块（2）与第一滑轨（13）滑动连接在一起，第二滑块（3）与第二滑轨（14）滑动连接在一起，第三滑块（8）与第三滑轨（15）滑动连接在一起，工作台（11）通过第一滑块（2）、第二滑块（3）、第三滑块（8）与第一滑轨（13）、第二滑轨（14）、第三滑轨（15）之间的滑动连接和导轨底座（1）滑动连接在一起；

压板（12）在第一滑轨（13）和第二滑轨（14）的顶部均有设置，压板（12）用于限制第一滑块（2）和第二滑块（3）上下方向的自由度。

2.根据权利要求1所述的一种精度高的超精密非球面成型磨床用静压导轨，其特征在于：所述第一滑块（2）滑动连接在第一滑轨（13）内的滑动面与第一滑轨（13）内所对应的滑轨面之间的间隙为2μm-2.5μm，第一滑块（2）的顶面与所对应侧压板（12）的底面之间的间隙为2μm-2.5μm。

3.根据权利要求1所述的一种精度高的超精密非球面成型磨床用静压导轨，其特征在于：所述第二滑块（3）滑动连接在第二滑轨（14）内的滑动面与第二滑轨（14）内所对应的滑轨面之间的间隙为2μm-2.5μm，第二滑块（3）的顶面与所对应侧压板（12）的底面之间的间隙为2μm-2.5μm。

4.根据权利要求1所述的一种精度高的超精密非球面成型磨床用静压导轨，其特征在于：所述第三滑块（8）滑动连接在第三滑轨（15）内的滑动面与第三滑轨（15）内所对应的滑轨面之间的间隙为2μm-2.5μm。

5.根据权利要求4所述的一种精度高的超精密非球面成型磨床用静压导轨，其特征在于：所述丝杠螺母座（9）上纵向开有贯通丝杠螺母座（9）的螺纹孔（91），螺纹孔（91）用于螺接丝杠（10）。

6.根据权利要求1所述的一种精度高的超精密非球面成型磨床用静压导轨，其特征在于：所述第一滑块（2）和第二滑块（3）上开有的上油腔（4）内的工作压力的阈值为3-27bar。

7.根据权利要求1所述的一种精度高的超精密非球面成型磨床用静压导轨，其特征在于：所述第一滑块（2）和第二滑块（3）上开有的下油腔（5）内的工作压力的阈值为3-27bar。

8.根据权利要求1所述的一种精度高的超精密非球面成型磨床用静压导轨，其特征在于：所述第三滑块（8）两侧侧壁上开有的左油腔（6）和右油腔（7）内的工作压力的阈值为3-27bar。

9.根据权利要求8所述的一种精度高的超精密非球面成型磨床用静压导轨，其特征在于：所述左油腔（6）和右油腔（7）的形状大小相同，且左油腔（6）和右油腔（7）以第三滑块（8）的纵向中心线为对称线呈左右对称设置在第三滑块（8）的两侧侧壁上。

10.根据权利要求1所述的一种精度高的超精密非球面成型磨床用静压导轨，其特征在于：所述工作台（11）在导轨底座（1）内进行滑动工作时，第一滑块（2）和第二滑块（3）上开有的上油腔（4）和下油腔（5）与第三滑块（8）两侧侧壁上开有的左油腔（6）和右油腔（7）内的压力值相等。