[实用新型]一种器件转移装置及拨件设备

说明书

本实用新型涉及一种器件转移装置及拨件设备，所述转移装置包括三维移动支架、TO器件单爪夹持机构、TO器件多爪夹持机构和吸嘴；所述三维移动支架可分别控制TO器件单爪夹持机构在至少一个方向上运动、所述TO器件多爪夹持机构在至少一个方向上运动和所述吸嘴在至少一个方向上运动。在TO器件的数量较少而且合格率较低时，选择单爪夹持机构进行单独使用，此时既提高了转移的准确性，又降低了能量的需求；在TO器件的数量较多而且合格率较高时，选择多爪夹持机构和吸嘴进行同时使用，此时能够同时夹持多个TO器件进行转移，也提高了TO器件的分拣拨件效率和准确性。

技术领域

本实用新型涉及半导体器件生产设备技术领域，尤其涉及一种器件转移装置及拨件设备。

背景技术

TO封装系统作为半导体领域中较为常见且应用广泛的一种器件。其中的TO器件在制备完成后，需要将其设置在测试板上进行质量的测试，测试结束后需要将合格品和不合格品进行分拣拨件。一旦出现拨件误差，使不合格的TO器件进入到合格品中，则会影响后续TO器件的一系列功能，因此分拣拨件工作非常重要。目前的分拣拨件工作主要是在测试完毕之后，通过人工进行分拣拨件，这不仅效率低下，而且人工操作一致性差，经常对TO器件产生损坏或潜在损坏。

因此，需要提供一种器件转移装置及拨件设备来解决现有技术的不足。

实用新型内容

为了解决现有技术中的问题，本实用新型提供了一种器件转移装置及拨件设备。

一种器件转移装置，包括三维移动支架、分别与所述三维移动支架连接的TO器件单爪夹持机构、TO器件多爪夹持机构和吸嘴；

所述三维移动支架可分别控制所述TO器件单爪夹持机构在至少一个方向上运动、所述TO器件多爪夹持机构在至少一个方向上运动和所述吸嘴在至少一个方向上运动。

进一步的，所述三维移动支架包括X方向的第一导轨、X方向的第二导轨、分别与所述第一导轨和所述第二导轨滑动连接的Y方向的第三导轨、分别与所述第一导轨和所述第二导轨滑动连接的Y方向的第四导轨、与所述第三导轨滑动连接的Z方向的第五导轨、与所述第三导轨滑动连接的Z方向的第六导轨、与所述第四导轨滑动连接的Z方向的第七导轨；

所述TO器件单爪夹持机构与所述第五导轨滑动连接，所述TO器件多爪夹持机构与所述第六导轨滑动连接，所述吸嘴与所述第七导轨滑动连接；

所述X方向、所述Y方向和所述Z方向两两相互垂直。

进一步的，所述TO器件单爪夹持机构包括固定臂、手指气缸和两个固定块；

所述手指气缸包括缸体和两个夹爪，所述缸体与所述固定臂的一端连接，两个所述夹爪与两个所述固定块一一对应连接；

两个所述固定块间形成与所述TO器件匹配的且可开合的限位腔。

进一步的，所述固定臂包括主臂和L臂，所述L臂包括相互垂直且连接的第一板和第二板，所述第一板与所述主臂的一端垂直连接，所述第二板的长度小于所述主臂的长度，所述第二板与所述主臂在所述第一板的同一侧；

所述手指气缸与所述第二板的远离所述主臂的一侧连接，所述手指气缸的夹爪可在靠近或远离所述第二板的方向平移。

进一步的，所述TO器件多爪夹持机构包括固定板、多个固定臂、多个手指气缸和多个固定块；

多个所述固定臂分别平行且分别与所述固定板连接；

多个所述手指气缸一一对应地与多个所述固定臂连接；

每个所述手指气缸包括缸体和两个夹爪，所述缸体与所述固定臂连接，两个所述夹爪各连接一个所述固定块，两个所述固定块间形成与所述TO器件匹配的且可开合的限位腔。