[实用新型]一种器件转移装置及拨件设备有效
| 申请号: | 201921784816.2 | 申请日: | 2019-10-22 |
| 公开(公告)号: | CN211538627U | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
| 发明(设计)人: | 白文;徐虎;陈方均 | 申请(专利权)人: | 芯思杰技术(深圳)股份有限公司 |
| 主分类号: | B07C5/34 | 分类号: | B07C5/34;B07C5/36;B07C5/38;B07C5/02;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司: | 深圳智汇远见知识产权代理有限公司 44481 | 代理人: | 沈园园 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 器件 转移 装置 设备 | ||
1.一种器件转移装置,其特征在于,包括三维移动支架、分别与所述三维移动支架连接的TO器件单爪夹持机构(35)、TO器件多爪夹持机构(23)和吸嘴(27);
所述三维移动支架可分别控制所述TO器件单爪夹持机构(35)在至少一个方向上运动、所述TO器件多爪夹持机构(23)在至少一个方向上运动和所述吸嘴(27)在至少一个方向上运动。
2.根据权利要求1所述的器件转移装置,其特征在于,所述三维移动支架包括X方向的第一导轨(15)、X方向的第二导轨(16)、分别与所述第一导轨(15)和所述第二导轨(16)滑动连接的Y方向的第三导轨(17)、分别与所述第一导轨(15)和所述第二导轨(16)滑动连接的Y方向的第四导轨(18)、与所述第三导轨(17)滑动连接的Z方向的第五导轨(34)、与所述第三导轨(17)滑动连接的Z方向的第六导轨(25)、与所述第四导轨(18)滑动连接的Z方向的第七导轨(26);
所述TO器件单爪夹持机构(35)与所述第五导轨(34)滑动连接,所述TO器件多爪夹持机构(23)与所述第六导轨(25)滑动连接,所述吸嘴(27)与所述第七导轨(26)滑动连接;
所述X方向、所述Y方向和所述Z方向两两相互垂直。
3.根据权利要求2所述的一种器件转移装置,其特征在于,所述TO器件单爪夹持机构(35)包括固定臂、手指气缸(5)和两个固定块(6);
所述手指气缸(5)包括缸体和两个夹爪,所述缸体与所述固定臂的一端连接,两个所述夹爪与两个所述固定块(6)一一对应连接;
两个所述固定块(6)间形成与所述TO器件(14)匹配的且可开合的限位腔(9)。
4.根据权利要求3所述的器件转移装置,其特征在于,所述固定臂包括主臂(1)和L臂(2),所述L臂(2)包括相互垂直且连接的第一板和第二板,所述第一板与所述主臂(1)的一端垂直连接,所述第二板的长度小于所述主臂(1)的长度,所述第二板与所述主臂(1)在所述第一板的同一侧;
所述手指气缸(5)与所述第二板的远离所述主臂(1)的一侧连接,所述手指气缸(5)的夹爪可在靠近或远离所述第二板的方向平移。
5.根据权利要求2所述的器件转移装置,其特征在于,所述TO器件多爪夹持机构(23)包括固定板、多个固定臂、多个手指气缸(5)和多个固定块(6);
多个所述固定臂分别平行且分别与所述固定板连接;
多个所述手指气缸(5)一一对应地与多个所述固定臂连接;
每个所述手指气缸(5)均包括缸体和两个夹爪,所述缸体与所述固定臂连接,两个所述夹爪各连接一个所述固定块(6),两个所述固定块(6)间形成与所述TO器件(14)匹配的且可开合的限位腔(9)。
6.根据权利要求5所述的器件转移装置,其特征在于,所述固定臂包括主臂(1)和L臂(2),所述L臂(2)包括相互垂直且连接的第一板和第二板,所述第一板与所述主臂(1)的一端垂直连接,所述第二板的长度小于所述主臂(1)的长度,所述第二板与所述主臂(1)在所述第一板的同一侧;
所述手指气缸(5)与所述第二板的远离所述主臂(1)的一侧连接,所述手指气缸(5)的夹爪可在靠近或远离所述第二板的方向平移。
7.根据权利要求6所述的器件转移装置,其特征在于,所述主臂(1)的远离所述L臂(2)的一侧设有第一滑块(7),所述固定板上设有与所述主臂(1)垂直的第一滑轨(32);
多个所述固定臂分别通过第一滑块(7)和第一滑轨(32)的配合滑动连接。
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