[实用新型]一种机器人末端晶圆搬运治具

权利要求书

1.一种机器人末端晶圆搬运治具，包括支撑模块(3)，其特征在于：支撑模块(3)包括U形底板(31)以及分别连接在底板(31)两侧端部的支撑臂(32)，U形底板(31)的中部安装有用于与机械臂(7)的丝杆(1)端头连接的连接模块(2)，U形底板(31)的两侧端部对称设置有夹紧模块(4)，夹紧模块(4)包括安装在U形底板(31)表面的支撑柱(42)、支撑柱(42)、安装板(41)、伸缩杆(43)、压紧杆(44)、压紧杆安装座(45)以及压紧弹簧(46)，安装板(41)连接于支撑柱(42)的顶部，压紧杆(44)通过横向安装轴安装于支撑柱(42)和压紧杆安装座(45)之间，压紧弹簧(46)的两端分别连接于安装板(41)的底面以及压紧杆(44)的后部上表面，伸缩杆(43)竖直安装于安装板(41)前部的通孔中。

2.根据权利要求1所述的机器人末端晶圆搬运治具，其特征在于：压紧杆(44)采用由尾部至头部逐渐变薄的楔形。

3.根据权利要求1所述的机器人末端晶圆搬运治具，其特征在于：压紧杆(44)的头部端的下部设有柔性保护层。

4.根据权利要求1所述的机器人末端晶圆搬运治具，其特征在于：支撑臂(32)的表面设有柔性保护层。

5.根据权利要求1所述的机器人末端晶圆搬运治具，其特征在于：支撑臂(32)由圆弧支撑部和长形支撑部首尾连接组成。

6.根据权利要求1所述的机器人末端晶圆搬运治具，其特征在于：连接模块(2)包括连接座(23)和与连接座(23)上表面固连的一侧开口的筒形连接件(21)，连接座(23)通过沉头螺丝(24)安装于U形底板(31)表面，筒形连接件(21)的开口处通过螺丝(22)旋紧。

7.根据权利要求1所述的机器人末端晶圆搬运治具，其特征在于：伸缩杆(43)与数控液压装置连接。