[实用新型]一种超精设备振荡机构

权利要求书

1.一种超精设备振荡机构，包括竖直设置的旋转驱动装置(1)及同轴套设于该旋转驱动装置(1)的旋转轴(11)外部的振荡器座(2)，其特征在于，还包括：

振幅调节组件(3)，所述振幅调节组件(3)安装于所述旋转轴(11)的下方，其随该旋转轴(11)同步旋转；以及

振荡器纵向销(4)，所述振荡器纵向销(4)同轴安装于所述振荡器座(2)的内部，且位于所述振幅调节组件(3)的下方，该振荡器纵向销(4)包括分设于其轴向两端的工作端部(41)及配合端部(42)，所述工作端部(41)与被振荡物体始终抵触设置，所述配合端部(42)沿其周向凸设有与所述振幅调节组件(3)间断性抵触配合的凸起部a(421)；

所述旋转驱动装置(1)驱动所述旋转轴(11)与所述振幅调节组件(3)同步旋转，通过所述振幅调节组件(3)与所述振荡器纵向销(4)的配合端部(42)间断式接触，实现该振荡器纵向销(4)在所述振荡器座(2)内沿竖直方向往复定幅振荡。

2.根据权利要求1所述的一种超精设备振荡机构，其特征在于，所述振幅调节组件(3)为凸出距离固定的控制部(31)。

3.根据权利要求1所述的一种超精设备振荡机构，其特征在于，所述振幅调节组件(3)为凸出距离沿竖直方向可调的控制部(31)。

4.根据权利要求2或3所述的一种超精设备振荡机构，其特征在于，还包括弹性连接器(5)，所述弹性连接器(5)同轴套设于所述旋转轴(11)的外部，沿其轴向自上向下依次包括过渡连接的卡爪部(51)及螺纹部(52)，所述卡爪部(51)包括沿轴向圆周等距环设有若干个卡爪(511)，相邻两个所述卡爪(511)之间存在调节间隙(512)，且所述卡爪部(51)远离所述螺纹部(52)的端部直径小于其靠近所述螺纹部(52)的端部直径。

5.根据权利要求4所述的一种超精设备振荡机构，其特征在于，所述控制部(31)为所述螺纹部(52)的下端部向外延伸的凸起部b或安装于所述螺纹部(52)的下端部且自由滚动的滚珠。

6.根据权利要求4所述的一种超精设备振荡机构，其特征在于，所述弹性连接器(5)的下端部上位于其中心轴一侧开设有安装槽(50)，所述控制部(31)为滚珠结构，其包括活动设置于所述安装槽(50)的滚珠(30)以及水平安装于所述弹性连接器(5)上的调节螺钉(32)，该调节螺钉(32)的锥形端部(321)穿入所述安装槽(50)内，且位于所述滚珠(30)上方一侧。

7.根据权利要求4所述的一种超精设备振荡机构，其特征在于，还包括弹性连接螺母(6)，该弹性连接螺母(6)配合套设于所述卡爪部(51)的外侧，且其下端部与所述螺纹部(52)螺纹配合连接。

8.根据权利要求4所述的一种超精设备振荡机构，其特征在于，还包括同轴设置于所述振荡器纵向销(4)和所述振荡器座(2)之间的振荡器纵向套(7)及水平贯穿所述振荡器纵向套(7)和所述振荡器纵向销(4)的振荡器定位销(71)，该振荡器纵向销(4)上设置有与所述振荡器定位销(71)适配的限位腰槽(43)；所述弹性连接器(5)与所述振荡器纵向套(7)之间设置有轴承(8)。

9.根据权利要求8所述的一种超精设备振荡机构，其特征在于，所述限位腰槽(43)的中心位于所述振荡器纵向销(4)的轴线上，其与所述振荡器定位销(71)的竖直方向的间隙不小于所述控制部(31)凸出距离。

10.根据权利要求1所述的一种超精设备振荡机构，其特征在于，所述被振荡物体置于所述振荡器纵向销(4)的下方，且其设置有复位的弹性回复结构。