[实用新型]一种金刚线多线切片机的钢线动态监控装置

说明书

本实用新型提供一种金刚线多线切片机的钢线动态监控装置，所述装置由固定基座、水平方向监控镜头和竖直方向监控镜头组成，其中，所述固定基座为四通视镜结构，所述固定基座的竖直方向的上部透镜处为压缩空气入口，所述水平方向监控镜头设置在所述固定基座的前后方向的管道外侧，所述竖直方向监控镜头设置在所述固定基座的竖直方向的下部管道内。该装置可以从水平方向与竖直方向同时对运行中的钢线表面质量进行监控；通过压缩空气入口吹入的压缩空气将高速运行中钢线带入的各种颗粒物、粉尘、液滴等污染镜头的脏污排除在装置之外，保证镜头表面清洁，从而避免由于镜头表面污染导致的成像图像不清晰。

技术领域

本实用新型属于金刚线切割技术领域，具体涉及一种金刚线多线切片机的钢线动态监控装置。

背景技术

近年来伴随着蓝宝石(Al₂O₃)、碳化硅(SiC)等超硬(莫氏硬度为9，仅次于金刚石)半导体衬底材料的广泛应用，金刚线多线切片设备也随之得到广泛应用。

在金刚线多线切片设备运行过程中，一般利用金刚线的往复运动与被切割材料表面进行磨削，来实现超硬材料的切割，这个过程中金刚线表面电镀金刚石微粉会随着切割过程的进行而逐渐磨损、脱落，金刚线表面质量直接决定了切割后材料的品质，如何实现高速运行中的金刚线表面状态动态监控是目前急需解决的技术难题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种金刚线多线切片机的钢线动态监控装置，可以从水平方向与竖直方向同时对运行中的钢线表面质量进行监控；同时，通过压缩空气入口吹入的压缩空气将高速运行中钢线带入的各种颗粒物、粉尘、液滴等污染镜头的脏污排除在装置之外，保证镜头表面清洁，从而避免由于镜头表面污染导致的成像图像不清晰。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种金刚线多线切片机的钢线动态监控装置，所述装置由固定基座、水平方向监控镜头和竖直方向监控镜头组成，其中，所述固定基座为四通视镜结构，所述固定基座的竖直方向上的上部透镜处为压缩空气入口，所述水平方向监控镜头设置在所述固定基座的前后方向上的管道外侧，所述竖直方向监控镜头设置在所述固定基座的竖直方向上的下部管道内。

优选地，所述装置还包括钢线，所述钢线贯穿地设置于所述固定基座水平方向的管道内，位于固定基座的中心位置。

优选地，所述钢线位于固定基座的中心位置的误差不大于0.5mm。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型的监控装置，利用金刚线高速运行中正、反向(往复运动)换向时的短暂停顿时间(时长小于0.5s)，实现对金刚线表面状态的抓拍，利用机台内置的图像处理程序对抓拍图像进行处理、计算，得到金刚线表面的金刚石密度、粒径度、母线直径等参数，从而将数据与程序设定参数进行比较，自动对机台运行程序进行修正，保证单位切割面积的供线量；当检测到的金刚石密度、粒径度、母线直径等参数超过机台程序设定报警参数时，触发报警及自动停机功能，从而避免由于金刚线品质异常而导致的切割后材料各项参数超标及表面质量不合格。

附图说明

图1为钢线动态监控装置的结构示意图；

图2为钢线动态监控装置的侧视图。

图中：1、固定基座；2、水平方向监控镜头；3、竖直方向监控镜头；4、钢线；5、压缩空气入口。

具体实施方式

以下结合附图与具体实施例对本实用新型做进一步详细说明。

实施例1