[实用新型]一种晶圆曝光机有效
| 申请号： | 201921744596.0 | 申请日： | 2019-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN210721014U | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 何海洋;胡健峰;彭强 | 申请（专利权）人： | 无锡市查奥微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 | ||
1.一种晶圆曝光机，包括支架(1)和箱体(4)，其特征在于：所述支架(1)的底端安装在所述箱体(4)上表面的左侧，所述支架(1)另一端上安装有灯罩(6)，所述灯罩(6)的下端安装有曝光管(7)，所述箱体(4)上表面的右侧设置有转盘(3)，所述箱体(4)的首端设置有控制面板(5)，所述箱体(4)的右侧设置有料出口(8)，所述灯罩(6)的内部安装有灯板(9)，且所述灯板(9)下表面的中间位置固定有灯泡(10)，所述曝光管(7)的内部设置有滤波器(11)和凸透镜(12)，所述滤波器(11)设置在所述凸透镜(12)的上方，所述曝光管(7)的底部安装有镜管(13)，所述转盘(3)上设置有孔洞(20)，且所述孔洞(20)有三个，所述孔洞(20)中间位置的两侧安装有焦点侦测光源(15)和焦点侦测器(19)，所述焦点侦测光源(15)设置在所述焦点侦测器(19)的右侧，所述转盘(3)的下表面设置有挡板(2)，所述转盘(3)固定在转轴(16)上，所述转轴(16)与电机(17)连接，所述电机(17)安装在液压缸(18)上，所述液压缸(18)设置在所述箱体(4)内部的底端，所述转轴(16)与所述料出口(8)之间设置有滚筒电机(22)，且所述滚筒电机(22)上设置有传送带(21)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆曝光机，其特征在于：所述灯罩(6)与所述曝光管(7)之间通过螺纹连接，且所述曝光管(7)与所述镜管(13)之间通过螺纹连接。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆曝光机，其特征在于：所述电机(17)为角度电机。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆曝光机，其特征在于：所述镜管(13)的下表面安装有弹性伸缩垫(14)。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆曝光机，其特征在于：所述控制面板(5)电性连接所述电机(17)、所述灯泡(10)和所述液压缸(18)。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆曝光机，其特征在于：所述挡板(2) 的上表面上设置有润滑脂。
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