[实用新型]一种便于清洗的石墨舟有效
| 申请号： | 201921724742.3 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN210272285U | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 吴寅;何军 | 申请（专利权）人： | 无锡鼎桥新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 | 代理人： | 张悦 |
| 地址： | 214116 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 便于 清洗 石墨 | ||
1.一种便于清洗的石墨舟，其特征在于：包括石墨舟片组(1)、第一连接棒(3)、第二连接棒(5)、间隔设置于所述石墨舟片组(1)两端的隔块(2)和间隔设置于所述石墨舟片组(1)内的间隔圈(4)；所述第一连接棒(3)分别穿过所述石墨舟片组(1)和所述间隔圈(4)；所述第二连接棒(5)分别穿过所述石墨舟片组(1)和所述隔块(2)；所述间隔圈(4)上设置有用于清洗的第一清洗槽(41)；所述隔块(2)上设置有用于清洗的第二清洗槽(21)。
2.根据权利要求1所述的便于清洗的石墨舟，其特征在于：所述石墨舟片组(1)包括并列设置的多个石墨舟片；所述石墨舟片上设置有固定硅片的卡点(6)。
3.根据权利要求1所述的便于清洗的石墨舟，其特征在于：所述间隔圈(4)上开设有第一连接孔(42)；所述第一连接棒(3)穿过所述第一连接孔(42)；所述第一清洗槽(41)开设于所述间隔圈(4)上靠近所述石墨舟片组(1)的端面；所述第一连接孔(42)与所述第一清洗槽(41)相连通。
4.根据权利要求1所述的便于清洗的石墨舟，其特征在于：所述隔块(2)上开设有第二连接孔(22)；所述第二连接棒(5)穿过所述第二连接孔(22)；所述第二清洗槽(21)开设于所述隔块(2)上靠近所述石墨舟片组(1)的端面；所述第二连接孔(22)与所述第二清洗槽(21)相连通。
5.根据权利要求1所述的便于清洗的石墨舟，其特征在于：所述第一连接棒(3)的两端设置有固定所述石墨舟片组(1)的第一螺母(31)；所述第一螺母(31)上设置有第一固定槽(32)；所述第一连接棒(3)上设置有限制所述第一螺母(31)移动的第一销轴(33)；所述第一销轴(33)嵌入所述第一固定槽(32)内。
6.根据权利要求1所述的便于清洗的石墨舟，其特征在于：所述第二连接棒(5)的两端设置有固定所述石墨舟片组(1)的第二螺母(51)；所述第二螺母(51)上设置有第二固定槽(52)；所述第二连接棒(5)上设置有限制所述第二螺母(51)移动的第二销轴(53)；所述第二销轴(53)嵌入所述第二固定槽(52)内。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡鼎桥新能源科技有限公司，未经无锡鼎桥新能源科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921724742.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种铁塔用接地装置
- 下一篇：场强覆盖均匀的室内高性能天线阵
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
