[实用新型]一种铜抛光过程表面冷却装置有效

专利信息
申请号: 201921719611.6 申请日: 2019-10-11
公开(公告)号: CN210849700U 公开(公告)日: 2020-06-26
发明(设计)人: 王永成 申请(专利权)人: 上海致领半导体科技发展有限公司
主分类号: B24B29/02 分类号: B24B29/02;B24B27/00;B24B55/02;B24B55/06
代理公司: 上海互顺专利代理事务所(普通合伙) 31332 代理人: 韦志刚
地址: 201319 上海市浦东新区*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 抛光 过程 表面 冷却 装置
【权利要求书】:

1.一种铜抛光过程表面冷却装置,包括机体(1),所述机体(1)中部镶嵌有透明框(2),所述透明框(2)前端与开关门(3)左右翻转,所述机体(1)中部内侧设置有冷基座(4),所述冷基座(4)顶部左侧铺设有滤网(5),所述机体(1)中部上方插设有抛光盘(6),所述机体(1)前端顶部嵌入有控制器(7),所述机体(1)顶端焊接有连接箱(8),所述机体(1)底部与检修门(9)转动连接,所述连接箱(8)内侧设置有电机(10),所述电机(10)底端通过输出轴与支撑板(11)转动配合,所述支撑板(11)底部四周竖直插设有电动推杆(12),并且电动推杆(12)底端与抛光盘(6)焊接,所述冷基座(4)底端左侧设置有鼓风机(13),所述鼓风机(13)左侧设置有收集框(14),所述机体(1)底部右侧与电源线(16)插接,所述电机(10)、电动推杆(12)和鼓风机(13)与控制器(7)电连接,所述控制器(7)与电源线(16)电连接;

其特征在于:还包括制冷装置(15),所述制冷装置(15)外侧与机体(1)底部内侧嵌入配合,所述制冷装置(15)由壳体(151)、风机(152)、半导体制冷片(153)、牵引斗(154)、转化头(155)和分流管(156)组成,所述壳体(151)内侧镶嵌有风机(152),所述风机(152)左侧设置有半导体制冷片(153),所述壳体(151)左端焊接有牵引斗(154),所述牵引斗(154)左端通过转化头(155)与分流管(156)插接,所述分流管(156)顶端贯穿有冷基座(4),所述壳体(151)焊接于机体(1)底部右侧内壁,所述风机(152)和半导体制冷片(153)与控制器(7)电连接。

2.根据权利要求1所述的一种铜抛光过程表面冷却装置,其特征在于:所述抛光盘(6)和电动推杆(12)均设置有4个,且抛光盘(6)和电动推杆(12)两者之间大小均一致。

3.根据权利要求1所述的一种铜抛光过程表面冷却装置,其特征在于:所述抛光盘(6)和电动推杆(12)呈环形分布,且抛光盘(6)底端与冷基座(4)竖直对齐。

4.根据权利要求1所述的一种铜抛光过程表面冷却装置,其特征在于:所述壳体(151)右侧设置有散热网,且散热网网孔直径为1mm。

5.根据权利要求1所述的一种铜抛光过程表面冷却装置,其特征在于:所述转化头(155)内侧开设有4个插槽,且插槽与分流管(156)相匹配。

6.根据权利要求1所述的一种铜抛光过程表面冷却装置,其特征在于:所述收集框(14)顶端设置有设置有牵引管,且牵引管呈L状。

7.根据权利要求1所述的一种铜抛光过程表面冷却装置,其特征在于:所述风机(152)上下两端设置有支撑架,且支撑架设置有6个。

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