[实用新型]一种石墨舟片检测工具有效
申请号: | 201921718715.5 | 申请日: | 2019-10-14 |
公开(公告)号: | CN210722972U | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
发明(设计)人: | 陈林;乔勇;孙贤 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/66 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215129 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 检测工具 | ||
1.一种石墨舟片检测工具,其特征在于,包括基体(1),所述基体(1)上设置有与被检测石墨舟片(2)的外形相适配的凹槽(11),所述凹槽(11)内设置有与被检测的石墨舟片(2)上的通孔的位置及截面形状一一对应的定位柱(12)。
2.根据权利要求1所述的石墨舟片检测工具,其特征在于,所述凹槽(11)包括两对分别与被检测的石墨舟片(2)的其中一对耳片(24)的外形相适配的耳槽部(111),两对所述耳槽部(111)沿所述凹槽(11)的中线对称设置。
3.根据权利要求1所述的石墨舟片检测工具,其特征在于,所述通孔包括被检测的石墨舟片(2)的卡点孔(21)、陶瓷杆安装孔(22)以及耳片连接孔(23)。
4.根据权利要求1所述的石墨舟片检测工具,其特征在于,所述定位柱(12)的高度小于所述凹槽(11)的深度。
5.根据权利要求1所述的石墨舟片检测工具,其特征在于,所述定位柱(12)的高度大于所述凹槽(11)的深度。
6.根据权利要求1所述的石墨舟片检测工具,其特征在于,所述定位柱(12)的顶端具有导向部(121),所述导向部(121)自背离所述定位柱(12)的一端至与所述定位柱(12)相连接的一端截面积逐渐增大。
7.根据权利要求6所述的石墨舟片检测工具,其特征在于,所述导向部(121)与所述定位柱(12)平滑连接。
8.根据权利要求1所述的石墨舟片检测工具,其特征在于,所有所述定位柱(12)的高度一致。
9.根据权利要求1所述的石墨舟片检测工具,其特征在于,所有所述定位柱(12)与所述基体(1)呈一体式结构。
10.根据权利要求1所述的石墨舟片检测工具,其特征在于,所述基体(1)由不锈钢制成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造