[实用新型]一种金刚石单线电火花复合加工装置

说明书

本实用新型涉及一种金刚石单线电火花复合加工装置，包括线辊驱动电机，所述线辊驱动电机的一端设置有线辊，通过脉冲电源、正极进电线、负极进电线与进电电刷，将传统电火花放电加工与金刚石线切割技术相结合实现电火花金刚石线复合加工半导体晶硅，针对金刚线切割加工半导体等晶硅的加工表面微裂纹、划痕等表面缺陷问题，在金刚线单线切割的基础上加入电火花放电加工实现加工表面的提升，为其在半导体行业的推广应用提供帮助，且电火花金刚石线复合加工半导体晶硅，电火花放电加工产生的加工表面的凹坑有利于降低后续制绒工序的工作强度，甚至进一步实现金刚石多线切割机晶硅切片的晶元制绒一体化。

技术领域

本实用新型属于复合加工技术领域，具体地说涉及一种金刚石单线电火花复合加工装置。

背景技术

金刚石线切割机采用金刚石线单向循环或往复循环运动的方式，使金刚石线与被切割物件间形成相对的磨削运动，从而实现切割的目的。

金刚石线切割机可对众多材料进行切割，其中，就包含有半导体晶体硅，半导体晶体硅在常温下导电性能介于导体与绝缘体之间，单晶硅是一种重要的半导体材料，用于制造大功率晶体管、整流器、太阳能电池等，然而，在实际使用中，金刚线切割加工半导体等晶硅材料，其晶硅材料加工表面容易出现微裂纹、划痕等表面缺陷问题，且加工效率较低，成本较高，不利于人们的使用，为此，我们提出一种金刚石单线电火花复合加工装置。

实用新型内容

针对现有技术的种种不足，现提供一种金刚石单线电火花复合加工装置，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种金刚石单线电火花复合加工装置，包括线辊驱动电机，所述线辊驱动电机的一端设置有线辊，所述线辊的前端设置有脉冲电源，所述线辊的下端设置有切割头架，所述线辊的外表面设置有金刚线，所述切割头架的下端设置有硅棒，所述硅棒的下端设置有棒料夹具。

优选的，所述切割头架的一侧设置有一号张力轮，所述切割头架的另一侧设置有二号张力轮，所述硅棒的一侧设置有一号切割轮，所述硅棒的另一侧设置有二号切割轮，所述金刚线串联线辊、一号张力轮、二号张力轮、一号切割轮与二号切割轮。

优选的，所述棒料夹具的数量为两组，所述两组棒料夹具之间的缝隙与硅棒的下端外表面对位，所述金刚线穿过缝隙连接一号切割轮与二号切割轮。

优选的，所述脉冲电源的后端外表面设置有负极进电线，所述负极进电线与金刚线之间设置有进电电刷，所述脉冲电源的下端外表面设置有正极进电线，所述正极进电线的一端外表面通过进电金属与硅棒的前端外表面固定连接。

优选的，所述线辊驱动电机的前端外表面设置有转轴，所述线辊的后端外表面与转轴固定连接。

优选的，所述一号张力轮与二号张力轮的规格相同，所述一号切割轮与二号切割轮的规格相同。

优选的，所述棒料夹具的顶部形状为“V”形。

本实用新型的有益效果是：

1、将传统电火花放电加工与金刚石线切割技术相结合实现电火花金刚石线复合加工半导体晶硅，针对金刚线切割加工半导体等晶硅的加工表面微裂纹、划痕等表面缺陷问题，在金刚线单线切割的基础上加入电火花放电加工实现加工表面的提升，为其在半导体行业的推广应用提供帮助。

2、为进一步降低切割的锯切力，将金刚线切片增加电火花加工方式辅助加工，达到宏观切削力减小的目的。

3、将传统电火花放电加工与金刚石线切割技术相结合实现电火花金刚石线复合加工半导体晶硅，电火花放电加工产生的加工表面的凹坑有利于降低后续制绒工序的工作强度，甚至进一步实现金刚石多线切割机晶硅切片后的晶元制绒一体化。

附图说明