[实用新型]一种晶片制作封装终段测试设备有效

专利信息
申请号: 201921707881.5 申请日: 2019-10-12
公开(公告)号: CN211404457U 公开(公告)日: 2020-09-01
发明(设计)人: 朱道田;黄明 申请(专利权)人: 江苏运鸿辉电子科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/66
代理公司: 北京东方灵盾知识产权代理有限公司 11506 代理人: 王娟
地址: 224000 江苏省盐城市盐都*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 晶片 制作 封装 测试 设备
【权利要求书】:

1.一种晶片制作封装终段测试设备,包括主箱(1),其特征在于:所述主箱(1)的一侧外壁上固定连接有固定板(2),所述固定板(2)的底端表面上固定连接有第一长杆(3),所述第一长杆(3)内部开设有腔体,所述第一长杆(3)的腔体内部设有第一弹簧(4),所述第一长杆(3)的底端表面上固定连接有第二长杆(5),所述第二长杆(5)的内部开设有腔体,所述第二长杆(5)的腔体内设有第二弹簧(6),所述第二弹簧(6)的底端固定连接有夹板(7),所述主箱(1)的内部开设有真空腔(8)、工作腔(9)和反应腔(10),所述工作腔(9)的底端内壁上固定安装有真空泵(11),所述真空泵(11)出气口处连接有出气管(12),所述真空泵(11)进气口处连接有抽气管(13),所述真空腔(8)的顶端内壁上贯穿连接有进气管(14),所述进气管(14)顶端与反应腔(10)相连通,所述进气管(14)的顶端连接有气球(15),所述反应腔(10)的内壁表面上固定连接有触摸开关(16),所述主箱(1)的顶端表面上固定连接有报警灯(17)。

2.根据权利要求1所述的一种晶片制作封装终段测试设备,其特征在于:所述第一弹簧(4)的一端与固定板(2)的底端表面固定连接,且第一弹簧(4)的另一端与第一长杆(3)的底端内壁固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶片制作封装终段测试设备,其特征在于:所述出气管(12)贯穿工作腔(9)的内壁,所述抽气管(13)贯穿工作腔(9)的顶端内壁与真空腔(8)相连通,且出气管(12)和抽气管(13)表面为光滑曲面。

4.根据权利要求1所述的一种晶片制作封装终段测试设备,其特征在于:所述进气管(14)和气球(15)的数量为若干组,且若干组进气管(14)和气球(15)呈直线等距分布。

5.根据权利要求1所述的一种晶片制作封装终段测试设备,其特征在于:所述固定板(2)、第一长杆(3)和第二长杆(5)的数量为两组,且两组固定板(2)、第一长杆(3)和第二长杆(5)以主箱(1)的竖直中心线呈轴对称安装。

6.根据权利要求1所述的一种晶片制作封装终段测试设备,其特征在于:所述夹板(7)为长方体形状,且夹板(7)的表面为光滑平面。

7.根据权利要求1所述的一种晶片制作封装终段测试设备,其特征在于:所述触摸开关(16)的形状为“凹”字型,且触摸开关(16)的表面为光滑平面。

8.根据权利要求1所述的一种晶片制作封装终段测试设备,其特征在于:所述主箱(1)靠近固定板(2)的一侧表面开设有通孔,且主箱(1)的通孔表面为光滑平面。

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