[实用新型]一种晶片制作封装终段测试设备有效
申请号: | 201921707881.5 | 申请日: | 2019-10-12 |
公开(公告)号: | CN211404457U | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 朱道田;黄明 | 申请(专利权)人: | 江苏运鸿辉电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/66 |
代理公司: | 北京东方灵盾知识产权代理有限公司 11506 | 代理人: | 王娟 |
地址: | 224000 江苏省盐城市盐都*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶片 制作 封装 测试 设备 | ||
1.一种晶片制作封装终段测试设备,包括主箱(1),其特征在于:所述主箱(1)的一侧外壁上固定连接有固定板(2),所述固定板(2)的底端表面上固定连接有第一长杆(3),所述第一长杆(3)内部开设有腔体,所述第一长杆(3)的腔体内部设有第一弹簧(4),所述第一长杆(3)的底端表面上固定连接有第二长杆(5),所述第二长杆(5)的内部开设有腔体,所述第二长杆(5)的腔体内设有第二弹簧(6),所述第二弹簧(6)的底端固定连接有夹板(7),所述主箱(1)的内部开设有真空腔(8)、工作腔(9)和反应腔(10),所述工作腔(9)的底端内壁上固定安装有真空泵(11),所述真空泵(11)出气口处连接有出气管(12),所述真空泵(11)进气口处连接有抽气管(13),所述真空腔(8)的顶端内壁上贯穿连接有进气管(14),所述进气管(14)顶端与反应腔(10)相连通,所述进气管(14)的顶端连接有气球(15),所述反应腔(10)的内壁表面上固定连接有触摸开关(16),所述主箱(1)的顶端表面上固定连接有报警灯(17)。
2.根据权利要求1所述的一种晶片制作封装终段测试设备,其特征在于:所述第一弹簧(4)的一端与固定板(2)的底端表面固定连接,且第一弹簧(4)的另一端与第一长杆(3)的底端内壁固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种晶片制作封装终段测试设备,其特征在于:所述出气管(12)贯穿工作腔(9)的内壁,所述抽气管(13)贯穿工作腔(9)的顶端内壁与真空腔(8)相连通,且出气管(12)和抽气管(13)表面为光滑曲面。
4.根据权利要求1所述的一种晶片制作封装终段测试设备,其特征在于:所述进气管(14)和气球(15)的数量为若干组,且若干组进气管(14)和气球(15)呈直线等距分布。
5.根据权利要求1所述的一种晶片制作封装终段测试设备,其特征在于:所述固定板(2)、第一长杆(3)和第二长杆(5)的数量为两组,且两组固定板(2)、第一长杆(3)和第二长杆(5)以主箱(1)的竖直中心线呈轴对称安装。
6.根据权利要求1所述的一种晶片制作封装终段测试设备,其特征在于:所述夹板(7)为长方体形状,且夹板(7)的表面为光滑平面。
7.根据权利要求1所述的一种晶片制作封装终段测试设备,其特征在于:所述触摸开关(16)的形状为“凹”字型,且触摸开关(16)的表面为光滑平面。
8.根据权利要求1所述的一种晶片制作封装终段测试设备,其特征在于:所述主箱(1)靠近固定板(2)的一侧表面开设有通孔,且主箱(1)的通孔表面为光滑平面。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造