[实用新型]一种芯片封装测试设备有效
申请号: | 201921707880.0 | 申请日: | 2019-10-12 |
公开(公告)号: | CN210778487U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 朱道田;黄明 | 申请(专利权)人: | 江苏运鸿辉电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/677;H01L21/687 |
代理公司: | 北京东方灵盾知识产权代理有限公司 11506 | 代理人: | 王娟 |
地址: | 224000 江苏省盐城市盐都*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 封装 测试 设备 | ||
本实用新型涉及测试设备技术领域,具体为一种芯片封装测试设备,包括测试台和挤压板,测试台的内部开设有矩形槽,矩形槽内部设有检测板,检测板下端通过插杆贯穿测试台的底部固定连接有连接环,连接环与测试台的底部之间固定连接有弹簧,在本实用新型中,限位板在挤压板一侧相对运动设计,方便对挤压板与测试台之间距离进行限位,避免机械误差出现挤压板损坏芯片的问题,同时弹簧设计,方便在芯片检测后,方便将芯片从测试台上分离取出,简单实用。
技术领域
本实用新型涉及测试设备技术领域,具体为一种芯片封装测试设备。
背景技术
在半导体制造领域,为了对制造工艺进行监控,保证半导体器件的可靠性,通常的做法是在器件中形成测试结构,用于测试一些关键的参数,芯片在封装时需要将金线压焊至芯片的焊垫上,实现芯片与外部的电连。而压焊所产生的压力作用于芯片,进而会施加在芯片中的绝缘介质层上,由于这些介质层一般是低介电常数的材料,往往在设备测试时,需要通过挤压板挤压芯片,从而使芯片与检测板贴合,然后测试性能。
传统挤压板在挤压芯片时,容易因机械误差,出现芯片表面外壳劈裂,影响后续芯片实用,缺乏有效的防护测试措施,且在芯片检测后缺乏有效的芯片回弹措施,使用不便。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种芯片封装测试设备,解决了传统挤压板在挤压芯片时,容易因机械误差,出现芯片表面外壳劈裂,影响后续芯片实用,缺乏有效的防护测试措施,且在芯片检测后缺乏有效的芯片回弹措施,使用不便的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种芯片封装测试设备,包括测试台和挤压板,所述测试台的内部开设有矩形槽,所述矩形槽内部设有检测板,所述检测板下端通过插杆贯穿测试台的底部固定连接有连接环,所述连接环与测试台的底部之间固定连接有弹簧,所述弹簧嵌套在插杆的外部一端,所述挤压板的下端固定连接有与矩形槽相互契合的衔接块,所述衔接块的下端固定连接有电流探头,所述电流探头的一端与检测器固定相连,所述衔接块的两侧位于挤压板的两侧贯穿有限位板,所述限位板的下端贯穿至挤压板底部固定连接有接触板,所述限位板通过螺钉与挤压板螺纹相连。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述测试台的两侧开设有容纳限位板的凹槽。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述螺钉螺纹贯穿在挤压板的两侧,所述限位板的侧面开设有与螺钉一端相抵的限位槽。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述芯片封装测试设备还包括调节架,所述调节架为n字形结构,所述调节架嵌套在限位板的上端,且底部与挤压板固定相连,所述螺钉螺纹贯穿在调节架的顶部,且所述螺钉的下端对应螺接在限位板的内部上端。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述限位板的上端开设有与螺钉相互匹配的螺孔。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述接触板的上端位于挤压板的侧面固定连接有刻度值,所述挤压板顶部侧面设有垫圈。
作为本实用新型的一种优选技术方案,检测器为微电流检测,测量范围为0至1安培之间,型号为TUNG-50。
与现有技术相比,本实用新型提供了一种芯片封装测试设备,具备以下有益效果:
该芯片封装测试设备,通过螺钉对限位板的位置进行限位,从而通过限位板的设置,对衔接块与检测板之间位置进行限位,从而避免机械误差,挤压板挤压芯片力度过大,损坏设备的情况,同时电流探头便于检测芯片表面是否出现压裂漏电的情况,弹簧的设置方便检测板对芯片进行检测后,在弹簧回弹力作用下,将芯片从挤压板上端顶部,便于卸料。
附图说明
图1为本实用新型结构拆解图;
图2为本实用新型调节架结构示意图;
图3为本实用新型挤压板结构主剖图。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏运鸿辉电子科技有限公司,未经江苏运鸿辉电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921707880.0/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种防断裂瓦楞纸箱
- 下一篇:一种带有红点激光功能的语文教学用拼音识读棒
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造