[实用新型]一种芯片封装测试设备有效

专利信息
申请号: 201921707880.0 申请日: 2019-10-12
公开(公告)号: CN210778487U 公开(公告)日: 2020-06-16
发明(设计)人: 朱道田;黄明 申请(专利权)人: 江苏运鸿辉电子科技有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;H01L21/677;H01L21/687
代理公司: 北京东方灵盾知识产权代理有限公司 11506 代理人: 王娟
地址: 224000 江苏省盐城市盐都*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 封装 测试 设备
【说明书】:

实用新型涉及测试设备技术领域,具体为一种芯片封装测试设备,包括测试台和挤压板,测试台的内部开设有矩形槽,矩形槽内部设有检测板,检测板下端通过插杆贯穿测试台的底部固定连接有连接环,连接环与测试台的底部之间固定连接有弹簧,在本实用新型中,限位板在挤压板一侧相对运动设计,方便对挤压板与测试台之间距离进行限位,避免机械误差出现挤压板损坏芯片的问题,同时弹簧设计,方便在芯片检测后,方便将芯片从测试台上分离取出,简单实用。

技术领域

本实用新型涉及测试设备技术领域,具体为一种芯片封装测试设备。

背景技术

在半导体制造领域,为了对制造工艺进行监控,保证半导体器件的可靠性,通常的做法是在器件中形成测试结构,用于测试一些关键的参数,芯片在封装时需要将金线压焊至芯片的焊垫上,实现芯片与外部的电连。而压焊所产生的压力作用于芯片,进而会施加在芯片中的绝缘介质层上,由于这些介质层一般是低介电常数的材料,往往在设备测试时,需要通过挤压板挤压芯片,从而使芯片与检测板贴合,然后测试性能。

传统挤压板在挤压芯片时,容易因机械误差,出现芯片表面外壳劈裂,影响后续芯片实用,缺乏有效的防护测试措施,且在芯片检测后缺乏有效的芯片回弹措施,使用不便。

实用新型内容

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种芯片封装测试设备,解决了传统挤压板在挤压芯片时,容易因机械误差,出现芯片表面外壳劈裂,影响后续芯片实用,缺乏有效的防护测试措施,且在芯片检测后缺乏有效的芯片回弹措施,使用不便的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种芯片封装测试设备,包括测试台和挤压板,所述测试台的内部开设有矩形槽,所述矩形槽内部设有检测板,所述检测板下端通过插杆贯穿测试台的底部固定连接有连接环,所述连接环与测试台的底部之间固定连接有弹簧,所述弹簧嵌套在插杆的外部一端,所述挤压板的下端固定连接有与矩形槽相互契合的衔接块,所述衔接块的下端固定连接有电流探头,所述电流探头的一端与检测器固定相连,所述衔接块的两侧位于挤压板的两侧贯穿有限位板,所述限位板的下端贯穿至挤压板底部固定连接有接触板,所述限位板通过螺钉与挤压板螺纹相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述测试台的两侧开设有容纳限位板的凹槽。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述螺钉螺纹贯穿在挤压板的两侧,所述限位板的侧面开设有与螺钉一端相抵的限位槽。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述芯片封装测试设备还包括调节架,所述调节架为n字形结构,所述调节架嵌套在限位板的上端,且底部与挤压板固定相连,所述螺钉螺纹贯穿在调节架的顶部,且所述螺钉的下端对应螺接在限位板的内部上端。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述限位板的上端开设有与螺钉相互匹配的螺孔。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述接触板的上端位于挤压板的侧面固定连接有刻度值,所述挤压板顶部侧面设有垫圈。

作为本实用新型的一种优选技术方案,检测器为微电流检测,测量范围为0至1安培之间,型号为TUNG-50。

与现有技术相比,本实用新型提供了一种芯片封装测试设备,具备以下有益效果:

该芯片封装测试设备,通过螺钉对限位板的位置进行限位,从而通过限位板的设置,对衔接块与检测板之间位置进行限位,从而避免机械误差,挤压板挤压芯片力度过大,损坏设备的情况,同时电流探头便于检测芯片表面是否出现压裂漏电的情况,弹簧的设置方便检测板对芯片进行检测后,在弹簧回弹力作用下,将芯片从挤压板上端顶部,便于卸料。

附图说明

图1为本实用新型结构拆解图;

图2为本实用新型调节架结构示意图;

图3为本实用新型挤压板结构主剖图。

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