[实用新型]用于电子束蒸镀的锅盘有效
| 申请号： | 201921686788.0 | 申请日： | 2019-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN210765485U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 叶小兵;孔德兴 | 申请（专利权）人： | 张家港志辰光学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/10 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 许云峰 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家港保税区新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 电子束 | ||
1.一种用于电子束蒸镀的锅盘，包括盘底和侧壁部，其特征在于，所述侧壁部的上边缘的外径大于下边缘的外径，所述侧壁部从上到下逐渐向靠近所述用于电子束蒸镀的锅盘的纵向中轴线方向倾斜，在所述侧壁部的外侧面上设置有朝向所述用于电子束蒸镀的锅盘的纵向中轴线凹陷的落料槽，所述盘底的中部设置有向上突起的凸台，在所述凸台与所述侧壁部中间设置有用于放置成膜料的物料容纳槽。
2.根据权利要求1所述的用于电子束蒸镀的锅盘，其特征在于，所述落料槽至少为一个并在所述侧壁部的外表面上沿其周向方向依次设置，靠近所述侧壁部的上边缘的所述落料槽的槽壁与槽底的距离大于靠近所述侧壁部的下边缘的所述落料槽的槽壁与槽底的距离，所述落料槽的槽壁从上到下向靠近所述用于电子束蒸镀的锅盘的纵向中轴线倾斜。
3.根据权利要求2所述的用于电子束蒸镀的锅盘，其特征在于，至少一个所述落料槽的下边缘沿着所述侧壁部的外侧壁的下边缘设置。
4.根据权利要求1所述的用于电子束蒸镀的锅盘，其特征在于，所述落料槽为在所述侧壁部的外表面上设置的至少一个螺旋状凹槽，所述落料槽的上槽口位于所述用于电子束蒸镀的锅盘的上边缘，所述落料槽的下槽口位于所述用于电子束蒸镀的锅盘的下边缘。
5.根据权利要求1所述的用于电子束蒸镀的锅盘，其特征在于，所述凸台的上表面不超过所述侧壁部的上边缘的高度。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的用于电子束蒸镀的锅盘，其特征在于，还包括与所述侧壁部的上边缘连接的物料遮挡部，所述物料遮挡部包括从下到上向靠近所述用于电子束蒸镀的锅盘的纵向中轴线倾斜设置的物料遮挡坡面。
7.根据权利要求6所述的用于电子束蒸镀的锅盘，其特征在于，所述物料遮挡部还包括沿着所述物料遮挡坡面的上边缘设置的物料滚落部，所述物料滚落部从上到下向远离所述用于电子束蒸镀的锅盘的纵向中轴线倾斜设置。
8.根据权利要求7所述的用于电子束蒸镀的锅盘，其特征在于，在所述物料遮挡坡面上设置有若干向所述侧壁部的上边缘延伸的物料滚落槽。
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