[实用新型]传感元件的连接结构和压力传感器有效
| 申请号: | 201921683270.1 | 申请日: | 2019-09-30 |
| 公开(公告)号: | CN211121746U | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
| 发明(设计)人: | 邹来福;吕有栋 | 申请(专利权)人: | 精量电子(深圳)有限公司 |
| 主分类号: | G01L19/00 | 分类号: | G01L19/00 |
| 代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 李海宝 |
| 地址: | 518107 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 传感 元件 连接 结构 压力传感器 | ||
1.一种传感元件的连接结构,其特征在于,包括:
传感元件;
基板,所述基板上设置有通孔,
阻挡件,所述阻挡件突出所述基板上板面并环绕所述通孔设置;和
胶贴件,所述胶贴件设置在所述基板的上板面,并环绕所述阻挡件设置,所述胶贴件将所述传感元件粘接在所述基板上板面。
2.如权利要求1所述的传感元件的连接结构,其特征在于,所述胶贴件包括:
第一胶层,涂覆在所述基板上板面,所述第一胶层环绕所述阻挡件设置;
第二胶层,所述第二胶层设置在所述第一胶层的上表面,用于连接所述第一胶层和所述传感元件。
3.如权利要求2所述的传感元件的连接结构,其特征在于,所述第一胶层与所述阻挡件之间留有填胶间隙,部分所述第二胶层填充于所述填胶间隙,并还覆盖所述第一胶层的上表面、内环面和外环面。
4.如权利要求3所述的传感元件的连接结构,其特征在于,所述第一胶层的高度大于所述阻挡件的高度。
5.如权利要求4所述的传感元件的连接结构,其特征在于,所述填胶间隙的径向尺寸大于所述第一胶层的高度。
6.如权利要求3所述的传感元件的连接结构,其特征在于,所述第一胶层的水平投影面积覆盖所述传感元件的面积。
7.如权利要求6所述的传感元件的连接结构,其特征在于,所述第二胶层包括由内到外顺次连接的填充段、连接段和封闭段,所述连接段用于连接传感元件和所述第一胶层,所述填充段位于所述填胶间隙,所述封闭段用于同时封闭传感元件和所述第一胶层的连接面、所述第一胶层和基板连接面与外界的接触。
8.如权利要求1所述的传感元件的连接结构,其特征在于,所述阻挡件在水平投影为圆环,并与所述通孔同心设置。
9.如权利要求1所述的传感元件的连接结构,其特征在于,所述阻挡件为封闭环状结构。
10.如权利要求1所述的传感元件的连接结构,其特征在于,所述基板上设置有电路结构,所述电路结构与所述传感元件电连接。
11.如权利要求10所述的传感元件的连接结构,其特征在于,所述阻挡件与所述电路结构为一体成型件。
12.如权利要求1所述的传感元件的连接结构,其特征在于,所述阻挡件为由电路丝印工艺丝印制成的阻挡件。
13.如权利要求1所述的传感元件的连接结构,其特征在于,所述传感元件在其下表面向上开设有凹陷部,所述凹陷部与所述通孔对齐设置。
14.如权利要求1所述的传感元件的连接结构,其特征在于,所述传感元件为MEMS芯片。
15.一种压力传感器,其特征在于,包括壳体和如权利要求1至14任一所述的传感元件的连接结构,所述壳体与所述基板密封连接。
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