[实用新型]一种降低硅片碎片的上料吸片装置有效

专利信息
申请号: 201921675379.0 申请日: 2019-10-09
公开(公告)号: CN210272301U 公开(公告)日: 2020-04-07
发明(设计)人: 李伟;戴磊;王波波;吴斌华;夏康;蓝希旺 申请(专利权)人: 中赣新能源股份有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 温州名创知识产权代理有限公司 33258 代理人: 程嘉炜
地址: 335000 江*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 降低 硅片 碎片 上料吸片 装置
【说明书】:

实用新型涉及上料吸片装置技术领域,且公开了一种降低硅片碎片的上料吸片装置,包括支架,所述支架的底部固定安装有底板,所述底板上固定安装有托盘,所述托盘的一侧固定安装有边框,所述边框固定安装在两个传送装置的中部,所述传送装置上活动放置有硅片,所述支架的顶部固定安装有顶板,所述顶板的底部固定安装有机械臂。本实用新型通过将以往的四点吸盘改为整体吸盘,加大吸附力度,改进了以往吸盘的吸力不均衡,避免吸盘因吸附力不均衡造成碎片现象,且对风口进行改进,将以往技术方案中的一孔式吹口改为风刀结构,能够将层叠的硅片吹动时,每片硅片分开,使吸盘只吸到一块硅片,操作效果大大提高。

技术领域

本实用新型涉及上料吸片装置技术领域,具体为一种降低硅片碎片的上料吸片装置。

背景技术

硅片进行线切割,需要通过托盘和上下料装置进行上下料,通常一次性将多片硅片叠放在托盘中,并用在移动支架上设置吸盘和风口进行上下料。

但现有的移动支架上设置的是四个吸口点,吸力不均衡,由于硅片很薄,硅片之间很容易吸附,上料吸盘手从托盘中吸附硅片时很容易一次吸附多片硅片,不仅造成硅片破碎,将硅片吹起的风口结构为一孔式吹口,吹起不均匀,在吸盘吸硅片时,容易吸附到几块,下端硅片在传送过程中掉下,容易造成碎片现象,这种结构的风刀其出风集中吹向硅片的某一部位,在风量较大时,由于风力集中于硅片的某一部位,该部位受力较大,容易破碎,另外,风刀一般位于装有硅片的托盘的角落里,风沿着托盘的对角线吹,使得硅片的受力更加不均衡。

实用新型内容

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种降低硅片碎片的上料吸片装置,具备吸盘一次只吸到一块硅片,吸盘吸附力大,降低硅片碎片的优点,解决了上述背景技术中提到的问题。

本实用新型提供如下技术方案:一种降低硅片碎片的上料吸片装置,包括支架,所述支架的底部固定安装有底板,所述底板上固定安装有托盘,所述托盘的一侧固定安装有边框,所述边框固定安装在两个传送装置的中部,所述传送装置上活动放置有硅片,所述支架的顶部固定安装有顶板,所述顶板的底部固定安装有机械臂,所述机械臂的底部固定安装有连接杆,所述连接杆的底端固定安装在上支撑板上,所述上支撑板与下支撑板由固定杆固定连接,所述下支撑板和固定杆的中部固定安装有吸盘,所述吸盘的顶部固定安装有抽气口,所述抽气口的一端固定安装有抽气管,所述下支撑板的两侧固定安装有固定螺丝,所述固定螺丝的一端固定安装在连接板上,所述连接板的两端固定安装有吹片头,所述吹片头的一端固定安装有旋紧螺丝,所述旋紧螺丝固定安装有进风口,所述进风口的顶部固定安装有进风管,所述吹片头的另一端设有风口,所述风口的内部固定安装有扇片,所述吹片头的一侧固定安装有旋钮。

精选的,所述吸盘为整体吸盘。

精选的,所述扇片的倾斜角度可调,所述扇片固定安装在风口的内部,所述风口为风刀结构。

精选的,所述下支撑板的数量为三个,且每两个下支撑板间的距离值与两个托盘间的距离值一致。

精选的,所述连接板的数量为两个,所述连接板对称安装在下支撑板的两端中部,所述连接板上均固定安装有两个吹片头,两个所述吹片头对称的安装在连接板的两端。

与现有技术对比,本实用新型具备以下有益效果:

1、本实用新型通过将以往的四点吸盘改为整体吸盘,加大吸附力度,改进了以往吸盘的吸力不均衡,避免吸盘因吸附力不均衡造成碎片现象,且对风口进行改进,将以往技术方案中的一孔式吹口改为风刀结构,能够将层叠的硅片吹动时,每片硅片分开,使吸盘只吸到一块硅片,操作效果大大提高。

2、本实用新型通过在风口的内部增加可调节的扇片,并由旋钮进行外部调控,便于在不同使用情况时对风口的出风角度进行调节,使装置具有更好的适应性。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图;

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