[实用新型]一种滤波装置

权利要求书

1.一种滤波装置，其特征在于，包括衬底层和位于所述衬底层上表面的谐振层，所述谐振层包括振动模式不同的第一谐振装置和第二谐振装置；

所述第一谐振装置至少包括层叠的第一压电层和第一上电极层，所述第二谐振装置至少包括层叠的第二压电层和第二上电极层，所述第一谐振装置和所述第二谐振装置中的至少一个还包括下电极层，且所述第二上电极层中的叉指电极靠近所述第一上电极层的一侧不具有母线。

2.如权利要求1所述的滤波装置，其特征在于，所述第二上电极层为叉指电极或者组合电极，所述组合电极包括反射栅电极和多个叉指电极。

3.如权利要求1所述的滤波装置，其特征在于，还包括：

位于所述谐振层上表面且与所述第二谐振装置所在区域对应的能量反射层。

4.如权利要求3所述的滤波装置，其特征在于，还包括：

位于所述谐振层上表面且与所述第一谐振装置所在区域对应的金属频率调节层。

5.如权利要求4所述的滤波装置，其特征在于，所述金属频率调节层为下述任一种金属或者任意组合金属形成的频率调节层：

铝、钼、铜、金、铂、银、镍、铬、钨、钛、钽。

6.如权利要求4所述的滤波装置，其特征在于，还包括：

位于所述金属频率调节层和所述能量反射层上表面的介质层。

7.如权利要求1所述的滤波装置，其特征在于，当所述衬底层不具有空腔时，还包括：

位于所述衬底层和所述谐振层之间的声学反射层，所述声学反射层包括低声阻抗层和高声阻抗层。

8.如权利要求1所述的滤波装置，其特征在于，当所述衬底层具有贯穿所述衬底厚度的空腔时，所述空腔完整对应所述第一谐振装置和所述第二谐振装置。

9.如权利要求1至8任一项所述的滤波装置，其特征在于，所述谐振层还包括振动模式与所述第一谐振装置相同的第三谐振装置，且所述第二谐振装置位于所述第一谐振装置和所述第三谐振装置之间，且所述第二上电极层中的叉指电极靠近所述第三谐振装置中的第三上电极层的一侧不具有母线。