[实用新型]一种扩散硼淀积新型石英舟

说明书

本实用新型公开了一种扩散硼淀积新型石英舟,包括石英舟本体，在石英舟本体上设有一级舟槽支架，底部支架，一级石英舟槽，二级石英舟槽，一级石英舟槽与二级石英舟槽上均设有舟槽槽口，舟槽槽口的倾角为88度，当舟槽槽口的入口倾角为88度的时候，有效均衡气流，改善淀积的均匀性，并减少粘舟达到降低碎片的目的，该硼淀积的石英舟舟槽角度进行调整后，工艺气体可以将部分副产物带走，有效提高了均匀性，降低粘片的问题，大大降低了硼扩工艺的成本。

技术领域

本实用新型涉及石英舟技术领域，具体为一种扩散硼淀积新型石英舟。

背景技术

石英又名石英玻璃，石英玻璃是由二氧化硅组成的矿物质。

石英玻璃主要用于电光源，半导体，光学新技术等方面。

新型光源方面：做高压水银灯、长弧氙灯、碘钨灯、碘化铊灯、红外线灯和杀菌灯等。

半导体方面：是半导体材料和器件生产过程中不可缺少的材料，如生长锗，硅单晶的坩埚、舟皿炉芯管和钟罩等。

在新技术领域中：用其声、光、电学的极佳性能、做雷达上的超声延迟线，红外跟踪测向，红外照相、通迅、摄谱仪、分光光度计的棱镜，透镜、大型天文望远镜的反射窗，高温作业窗、反应堆、放射性装置；火箭，导弹的鼻锥体，喷嘴和天线罩：人造卫星的无线电绝缘零件，辐射；热天秤，真空吸附装置，精密铸造等。

石英还用于：化工、冶金、电工、科研等方面。

在化工方面：可做高温耐酸性气体的燃烧、冷却的和通风装置，酸性溶液的蒸发，冷却吸物收，贮存装置,蒸馏水,盐酸、硝酸、硫酸等的制备和其它物理化学实验用品。在高温业作方面：可做光学玻璃的，坩埚成萤光体客气，电炉炉芯管，气体燃烧辐射体，在光学方面：石英玻璃和石英玻璃棉可作火箭的喷咀，宇宙飞船防热罩和观察窗等，总之，随着现代科学技术的发展，石英玻璃在各个领域方面得到更加广泛的应用。

扩散工艺

石英舟装载硅片进行扩散时，工艺气体从扩散炉尾部通入，硅片在石英舟上垂直放片时气流方向和硅片放片方向垂直，硼扩散时反应产生的副产物掉落在石英舟上并持续进行反应，硅片靠近石英舟区域浓度明显偏大，且硅片易粘在石英舟上

传统硼扩散工艺使用舟装载硅片进行扩散，通常使用的是50槽的石英舟，本工艺产品由于硼扩散后表面浓度高，使用传统石英舟进行本公司产品加工时出现以下2个问题：

1.硅片表面硼浓度不均匀、电阻值均匀性差，表面5点测试均匀性最高12.56％,不满足工艺5％的要求；

2.硅片粘在石英舟上导致碎片的问题，由于浓度高，硅片和石英舟粘合在一起不容易分片，当站点的破片率最高达到2.35％。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一有效提高均匀性，降低粘片的问题，大大降低了处理工艺成本的一种扩散硼淀积新型石英舟，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种扩散硼淀积新型石英舟,包括石英舟本体，所述石英舟本体上设有一级舟槽支架，一级舟槽支架的上方两端对称设有一级石英舟槽，所述一级舟槽支架的底部设有底部支架，底部支架与一级舟槽支架焊接连接，所述底部支架的底部对称设有二级石英舟槽，

所述一级石英舟槽，二级石英舟槽上均设有舟槽槽口，舟槽槽口的入口倾角为88度。

优选的，所述石英舟本体的内部中央设有硅片放置槽。

优选的，所述一级舟槽支架上方两个一级石英舟槽之间的水平距离为133.2mm。

优选的，所述底部支架下方的两个二级石英舟槽之间的水平距离为46.2mm。