[实用新型]样品仓、光谱检测系统有效

专利信息
申请号: 201921664345.1 申请日: 2019-09-30
公开(公告)号: CN211783325U 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 黄培雄;张前成 申请(专利权)人: 深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司;雄安华讯方舟科技有限公司
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06
代理公司: 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 代理人: 李娟
地址: 518000 广东省深圳市宝安*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 样品 光谱 检测 系统
【说明书】:

本申请适用于计算机技术领域,提出一种样品仓、光谱检测系统、样品厚度测量方法及装置,样品仓包括相对的第一侧壁和第二侧壁;第一侧壁反射太赫兹波形成第一反射信号,透射太赫兹波形成第一透射信号;第二侧壁全反射第二透射信号,形成第二反射信号;待测样品的第一表面和第二表面分别反射第一透射信号形成第三反射信号和第四反射信号。由于太赫兹波在空气中的传播速度、第一侧壁和第二侧壁之间的距离均已知,因此通过样品仓测量出接收到第一反射信号和第三反射信号的时间差,以及接收到第二反射信号和第四反射信号的时间差,可以计算待测样品的厚度,能够实现对未知折射率样品的厚度进行测量。

技术领域

本申请属于计算机技术领域,尤其涉及一种样品仓、光谱检测系统。

背景技术

在利用太赫兹脉冲测量厚度时,常采用时差法。传统时差法测量厚度除了需要测量样品上反射脉冲出现的时间差,还需要知道样品的折射率才能够求出样品的厚度,无法对未知折射率样品的厚度进行测量。

发明内容

有鉴于此,本申请实施例提供了样品仓、光谱检测系统、样品厚度测量方法、装置、处理设备及存储介质,以解决现有技术中无法对未知折射率样品的厚度进行测量的问题。

本申请实施例的第一方面提供了一种样品仓,包括相对设置的第一侧壁和第二侧壁,所述第一侧壁和所述第二侧壁之间的空间用于放置待测样品;

所述第一侧壁用于反射入射的太赫兹波形成第一反射信号,以及透射所述太赫兹波形成第一透射信号;

所述第二侧壁用于全反射第二透射信号,形成第二反射信号;所述第二透射信号由所述第一透射信号透过所述待测样品形成;

所述待测样品包括相对的第一表面和第二表面,所述第一表面和所述第二表面均与所述第一侧壁和所述第二侧壁平行;

所述第一透射信号传输至所述第一表面发生反射形成第三反射信号,以及传输至所述第二表面发生反射形成第四反射信号;所述第一侧壁与所述第二侧壁之间的距离、所述第一反射信号、所述第二反射信号、所述第三反射信号以及所述第四反射信号用于计算所述待测样品的第一表面与第二表面之间的厚度。

在一种可选的实现方式中,还包括位移设备,所述位移设备用于带动所述待测样品按垂直于所述第一侧壁和所述第二侧壁的方向移动。

在一种可选的实现方式中,所述第一侧壁相对所述第二侧壁的内表面设置有预设大小的第一薄膜,所述第一薄膜用于使入射的太赫兹波发生反射形成所述第一反射信号以及使所述太赫兹波发生透射形成所述第一透射信号;

所述第二侧壁相对所述第一侧壁的内表面设置有第二薄膜,所述第二薄膜用于使所述第二透射信号发生全反射形成第二反射信号;所述第二透射信号由所述第一透射信号透过所述待测样品形成。

本申请实施例的第二方面提供了一种光谱检测系统,包括:太赫兹发射器、太赫兹波检测器以及上述第一方面所述的样品仓;

所述太赫兹发射器用于向所述样品仓的第一侧壁发射太赫兹波;

所述太赫兹波检测器用于接收所述第一侧壁反射的第一反射信号、所述样品仓的第二侧壁反射的第二反射信号、待测样品的第一表面反射的第三反射信号以及所述待测样品的第二表面发射的第四反射信号;

所述第一侧壁与所述第二侧壁之间的距离、所述第一反射信号、所述第二反射信号、所述第三反射信号以及所述第四反射信号用于计算所述待测样品的第一表面与第二表面之间的厚度。

本申请第三方面提供了一种基于光谱检测系统测量样品厚度的方法,所述光谱检测系统为上述第二方面所述的光谱检测系统,包括:

检测到样品仓中有待测样品后,获取所述光谱检测系统检测到的反射信号的时间信息,所述反射信号包括第一反射信号、第二反射信号、第三反射信号以及第四反射信号;

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