[实用新型]一种用于硅片陶瓷盘分离机的工作台装置

权利要求书

1.一种用于硅片陶瓷盘分离机的工作台装置，包括底板；其特征在于，还包括陶瓷盘转台单元；

所述底板前端底部通过连接杆与气缸相连，气缸底部连接第一铰链支架，底板后端底部连接第二铰链支架；

所述陶瓷盘转台单元设于底板上端面中心，陶瓷盘转台单元两侧设有多组滚筒，底板上端面后侧边上设有标记检测传感器，标记检测传感器与陶瓷盘转台单元信号连接。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述底板上端面后端设有阻挡气缸。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述陶瓷盘转台单元的结构上设有真空吸附结构，转台由伺服电机控制，用于吸附陶瓷盘，避免因装夹对陶瓷盘的损伤及准确定位旋转角度。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述底板上端面标记检测传感器邻侧设有喷气嘴。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述底板后端旁侧还设有晶片滑道。