[实用新型]一种具有可调节工作台的晶圆切割机

权利要求书

1.一种具有可调节工作台的晶圆切割机，包括吸盘固定座、驱动电机和陶瓷吸盘，所述驱动电机的输出轴连接于所述吸盘固定座，所述驱动电机用于驱动所述吸盘固定座旋转，所述吸盘固定座上设有凹槽，所述陶瓷吸盘设置在所述凹槽内，其特征在于，还包括至少三个竖向调节机构，所述竖向调节机构连接在所述驱动电机上，所述竖向调节机构用于设置在预设平面上并调节所述陶瓷吸盘的平面度。

2.如权利要求1所述的一种具有可调节工作台的晶圆切割机，其特征在于，所述竖向调节机构包括调节杆和支撑块，所述调节杆的一端固定在所述驱动电机上，所述调节杆的另外一端朝向所述预设平面，以及螺纹连接于所述支撑块。

3.如权利要求2所述的一种具有可调节工作台的晶圆切割机，其特征在于，还包括弹性调整件，所述弹性调整件位于所述支撑块和所述预设平面之间。

4.如权利要求3所述的一种具有可调节工作台的晶圆切割机，其特征在于，所述弹性调整件为碟簧或调整垫。

5.如权利要求1所述的一种具有可调节工作台的晶圆切割机，其特征在于，还包括调节件，所述调节件位于所述陶瓷吸盘和所述吸盘固定座之间，所述调节件位于凹槽内，所述调节件用于调节所述陶瓷吸盘的平面度。

6.如权利要求5所述的一种具有可调节工作台的晶圆切割机，其特征在于，所述调节件的一端位于所述陶瓷吸盘内且螺纹连接于所述陶瓷吸盘，所述调节件的另一端抵触在所述凹槽的槽底。

7.如权利要求5所述的一种具有可调节工作台的晶圆切割机，其特征在于，所述调节件设置有若干个，所述调节件等距设置在一圆周上，所述圆周以所述陶瓷吸盘的中心为圆心。

8.如权利要求1所述的一种具有可调节工作台的晶圆切割机，其特征在于，所述凹槽设为圆形槽，所述陶瓷吸盘为圆形吸盘，所述圆形吸盘的轴向与所述圆形槽的轴向共线。

9.如权利要求1所述的一种具有可调节工作台的晶圆切割机，其特征在于，还包括防尘罩、连接杆和防尘拉帘，所述防尘罩套设于所述吸盘固定座，所述连接杆的一端固定在所述防尘罩上，所述连接杆的另外一端固定在所述驱动电机上，所述防尘罩的相对两侧均固定有所述防尘拉帘。

10.如权利要求9所述的一种具有可调节工作台的晶圆切割机，其特征在于，还包括防水环，所述防水环固定在所述防尘罩上，所述防水环围设于所述吸盘固定座，所述防水环位于所述防尘罩背向驱动电机的一侧。