[实用新型]一种用于电容器金属膜蒸镀的镀膜装置有效
申请号: | 201921640703.5 | 申请日: | 2019-09-29 |
公开(公告)号: | CN210736874U | 公开(公告)日: | 2020-06-12 |
发明(设计)人: | 古玮;韩秋城;杨峰 | 申请(专利权)人: | 浙江七星电子股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/20 | 分类号: | C23C14/20;C23C14/24;C23C14/56;C23C14/52 |
代理公司: | 重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213 | 代理人: | 陈利荣 |
地址: | 313119 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 电容器 金属膜 镀膜 装置 | ||
1.一种用于电容器金属膜蒸镀的镀膜装置,包括真空室(1)、转动设置与真空室(1)内的水冷辊(2)、转动设置于真空室(1)内且分别位于水冷辊(2)左右两侧的放辊(3)和卷辊(4)、位于水冷辊(2)与放辊(3)之间的若干左导辊(5)、位于水冷辊(2)与卷辊(4)之间的右导辊(6),其特征在于:所述水冷辊(2)、放辊(3)、卷辊(4)、左导辊(5)、右导辊(6)上对称设置有用于对聚酯膜两侧进行限位的两个限位环(10)。
2.根据权利要求1所述的一种用于电容器金属膜蒸镀的镀膜装置,其特征在于:所述水冷辊(2)、放辊(3)、卷辊(4)、左导辊(5)、右导辊(6)位于两个限位环(10)的外侧上对称设置有两个固定环(8),每个所述固定环(8)朝向限位环(10)的端面上均开设有若干穿孔(9),每个所述限位环(10)朝向固定环(8)的端面上均设置有用于穿过穿孔(9)的若干固定螺杆(11),每个所述固定螺杆(11)上均螺纹连接有两个分别贴合于固定环(8)两侧壁以固定限位环(10)的固定螺母(12)。
3.根据权利要求1所述的一种用于电容器金属膜蒸镀的镀膜装置,其特征在于:所述真空室(1)内位于水冷辊(2)下方处设置有铝蒸发源(7),所述真空室(1)内对称设置有两个分别位于铝蒸发源(7)两侧的铝隔离挡板(13),两个所述铝隔离挡板(13)之间留有用于供铝蒸汽上升的出口(14)。
4.根据权利要求1所述的一种用于电容器金属膜蒸镀的镀膜装置,其特征在于:所述右导辊(6)和切膜结构之间设置压膜机构(15),所述压膜机构(15)包括对称设置于真空室(1)内且为上下分布的两个安装架(16)、对称设置于两个安装架(16)之间的两个竖架(17)、转动设置于两个竖架(17)之间的上压辊(22)和下压辊(20)、设置于其中一个竖架(17)背离下压辊(20)的侧壁上且用于驱动下压辊(20)转动的驱动电机(21)。
5.根据权利要求4所述的一种用于电容器金属膜蒸镀的镀膜装置,其特征在于:两个所述竖架(17)相背的侧壁上均开设有滑移孔(18),每个所述滑移孔(18)内均滑动设置有滑移架(19),所述上压辊(22)转动设置于两个滑移架(19)之间,所述安装架(16)上设置有用于驱动滑移架(19)在滑移孔(18)内上下滑移的第二气缸(23),所述第二气缸(23)的活塞杆穿过安装架(16)并与滑移架(19)相连。
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