[实用新型]去除背面硅应力的旋转装置

权利要求书

1.去除背面硅应力的旋转装置，其特征在于，包括电机、传动机构、跳动轴和壳体；

所述壳体呈L型，包括存储部和支撑部；所述支撑部呈板状，水平固定设置在所述存储部上，靠近底部位置；

所述支撑部上设有与所述跳动轴适配的豁口；所述跳动轴活动设置在所述豁口内，并从所述豁口内凸出；

所述传动机构设置在所述存储部内；

所述跳动轴的一端伸入所述存储部内，与所述传动机构传动连接；

所述电机固定设置在酸槽的侧壁上，靠近顶部位置，通过所述传动机构带动跳动轴旋转。

2.根据权利要求1所述的去除背面硅应力的旋转装置，其特征在于，所述传动机构包括齿轮一、齿轮二、齿轮三、铰接轴一和铰接轴二；

所述铰接轴一活动连接在所述存储部内，靠近顶部位置；所述铰接轴一的一端与所述电机的旋转轴固定连接，另一端与所述齿轮一固定连接；

所述齿轮二与齿轮一相啮合，通过所述铰接轴二活动连接在所述存储部内，靠近中部位置；

所述齿轮三固定连接在所述跳动轴伸入存储部的一端，与所述齿轮二相啮合。

3.根据权利要求1所述的去除背面硅应力的旋转装置，其特征在于，所述传动机构包括皮带轮一、皮带轮二、同步带和铰接轴三；

所述铰接轴三活动设置在所述存储部内，靠近顶部位置；所述皮带轮一固定套设在所述铰接轴三的一端，所述铰接轴三的另一端从所述存储部内伸出，与所述电机的旋转轴固定连接；

所述皮带轮二固定连接在所述跳动轴伸入存储部的一端，并通过所述同步带与所述皮带轮一传动连接。

4.根据权利要求1所述的去除背面硅应力的旋转装置，其特征在于，所述跳动轴的截面呈椭圆形。