[实用新型]一种霍尔晶圆测试装置

权利要求书

1.一种霍尔晶圆测试装置，其特征在于：包括基座(1)、显微镜(2)、磁场发生器(3)、高斯计(7)、移动平台(4)、支座(5)和安装于基座(1)上的支架(6)；

所述显微镜(2)安装于支架(6)上，移动平台(4)固定于基座(1)上，移动平台(4)上设有放置待测晶圆的置物台；磁场发生器(3)安装于支座(5)上；

所述磁场发生器(3)包括无磁性金属框架(301)，无磁性金属框架(301)的中心处开设通孔(302)，通孔(302)的外围设有中空的圆柱形凸台(303)；所述圆柱形凸台(303)内盘绕有铜线，所述铜线的两端连接有通电装置；

所述显微镜(2)的镜头位于通孔(302)的正上方，通孔(302)和放置待测晶圆的置物台相对，待测晶圆位于圆柱形凸台(303)的正下方；高斯计(7)的探头放置于待测晶圆上。

2.如权利要求1所述一种霍尔晶圆测试装置，其特征在于：还包括安装于基座(1)的真空吸附装置(8)，所述置物台中心处设有至少一个连通孔，真空吸附装置(8)的吸附端穿过所述连通孔至待测晶圆下方。

3.如权利要求2所述一种霍尔晶圆测试装置，其特征在于：所述无磁性金属框架(301)为无磁性金属圆盘。

4.如权利要求3所述一种霍尔晶圆测试装置，其特征在于：所述无磁性金属框架(301)为铝制圆盘，无磁性金属框架(301)固定于铝板(304)上，所述铝板(304)搭放于支座(5)上。

5.如权利要求3或4所述一种霍尔晶圆测试装置，其特征在于：所述移动平台(4)为丝杠驱动的三向移动平台。

6.如权利要求5所述一种霍尔晶圆测试装置，其特征在于：所述显微镜(2)夹持安装于支架(6)上。