[实用新型]一种管式镀膜石墨舟、管式加热炉及太阳能电池片

说明书

本申请公开了一种PECVD管式镀膜石墨舟，包括舟体及隔热板；所述舟体包括石墨舟页及连接块；所述连接块用于连接相邻的所述石墨舟页；所述隔热板设置在外舟页的外侧，与所述外舟页平行相隔有间距，用于减弱炉管至待镀膜硅片的热辐射；所述隔热板与所述舟体之间无电连接。本申请通过在所述舟体外侧增设隔热板，并规定所述隔热板与所述舟体绝缘，以免短路。本申请通过减弱垂直于所述石墨舟页的方向的热辐射，进而降低所述舟体外侧与内侧的温度差，提高整舟的硅片镀层的膜厚与折射率的均匀性和一致性。本申请同时还提供了一种具有上述有益效果的管式加热炉及太阳能电池片。

技术领域

本申请涉及光伏组件制造领域，特别是涉及一种管式镀膜石墨舟、管式加热炉及太阳能电池片。

背景技术

目前光伏产业仍然以晶硅太阳能电池为主，太阳能电池制备流程是：清洗、扩散、刻蚀、PECVD、丝网印刷、烧结、测试分选和包装，其中PECVD工序目的是在硅片表面沉积一层氮化硅膜层，该氮化硅膜层可降低电池片的反射率，增强对光的吸收，从而提高电池片的转换效率，若膜层不均匀会导致返工片，需要进行返工处理，增加成本，故提高镀膜的均匀性非常关键。

目前行业内PECVD镀膜有管式镀膜和板式镀膜，以管式镀膜为主，管式镀膜使用到的硅片载体是石墨舟，石墨舟放在圆形炉管里面，通过高频电源电离硅烷和氨气形成等离子体，反应后沉积在硅片表面。现有技术中的管式炉镀膜，首先由炉管加热丝加热，然后将热量传递到反应腔体里面，而腔体内侧受距离的差异导致温度和热辐射的强度是不均匀的，靠近管壁的位置温度和热辐射会高，远离管壁的位置温度和热辐射会低，如此就会导致石墨舟内外舟页的温度和热辐射能量差异，从而影响沉积的速率，导致膜厚和折射率存在差异，即膜层不均。

因此，如何解决现有技术中置于石墨舟外侧与内侧的硅片受热不均引起的镀膜膜层不均，是本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

本申请的目的是提供一种管式镀膜石墨舟、管式加热炉及太阳能电池片，以解决现有技术中置于石墨舟外侧与内侧的硅片受热不均引起的镀膜膜层不均。

为解决上述技术问题，本申请提供一种管式镀膜石墨舟，包括舟体及隔热板；

所述舟体包括石墨舟页及连接块；

所述连接块用于连接相邻的所述石墨舟页；

所述隔热板设置在外舟页的外侧，与所述外舟页平行相隔有间距，用于减弱炉管至待镀膜硅片的热辐射；

所述隔热板与所述舟体之间无电连接。

可选地，在所述管式镀膜石墨舟中，所述隔热板为石墨隔热板，所述石墨隔热板与所述舟体间通过绝缘连接件连接。

可选地，在所述管式镀膜石墨舟中，所述绝缘连接件为陶瓷螺母。

可选地，在所述管式镀膜石墨舟中，所述石墨隔热板的厚度的范围为2 毫米至5毫米，包括端点值。

可选地，在所述管式镀膜石墨舟中，所述石墨隔热板与所述外舟页的间距的范围为2毫米至11毫米，包括端点值。

可选地，在所述管式镀膜石墨舟中，所述隔热板为绝缘隔热版。

本申请还提供了一种管式加热炉，所述管式加热炉包括上述任一种所述的管式镀膜石墨舟。

本申请还提供了一种太阳能电池片，所述太阳能电池片为经过上述管式加热炉进行PECVD镀膜得到的太阳能电池片。