[实用新型]一种管式镀膜石墨舟、管式加热炉及太阳能电池片

权利要求书

1.一种管式镀膜石墨舟，其特征在于，包括舟体及隔热板；

所述舟体包括石墨舟页及连接块；

所述连接块用于连接相邻的所述石墨舟页；

所述隔热板设置在外舟页的外侧，与所述外舟页平行相隔有间距，用于减弱炉管至待镀膜硅片的热辐射；

所述隔热板与所述舟体之间无电连接。

2.如权利要求1所述的管式镀膜石墨舟，其特征在于，所述隔热板为石墨隔热板，所述石墨隔热板与所述舟体间通过绝缘连接件连接。

3.如权利要求2所述的管式镀膜石墨舟，其特征在于，所述绝缘连接件为陶瓷螺母。

4.如权利要求2所述的管式镀膜石墨舟，其特征在于，所述石墨隔热板的厚度的范围为2毫米至5毫米，包括端点值。

5.如权利要求2所述的管式镀膜石墨舟，其特征在于，所述石墨隔热板与所述外舟页的间距的范围为2毫米至11毫米，包括端点值。

6.如权利要求1所述的管式镀膜石墨舟，其特征在于，所述隔热板为绝缘隔热版。

7.一种管式加热炉，其特征在于，所述管式加热炉包括如权利要求1至6任一项所述的管式镀膜石墨舟。

8.一种太阳能电池片，其特征在于，所述太阳能电池片为经过如权利要求7所述的管式加热炉进行PECVD镀膜得到的太阳能电池片。