[实用新型]一种干刻机台支撑装置

说明书

本实用新型公开了一种干刻机台支撑装置，其特征在于：包括设于干刻下部电极板下方的主支撑机构，所述主支撑机构支撑布置支撑在玻璃基板拐角边缘位置，该支撑装置还设有支撑在所述玻璃基板两侧靠近中部位置的中部支撑机构。本实用新型干刻机台支撑装置，结构布置合理，对玻璃基板支撑性好，可有效防止玻璃破损，提高干刻机台适用性，具有较强的实用性和较好的应用前景。

技术领域

本实用新型属于干刻机台技术领域，更具体地说，涉及一种干刻机台支撑装置。

背景技术

目前在商业上应用的玻璃基板，其主要厚度为0.5～0.7mm,迈入更薄(0.4mm)制程。一片TFT-LCD面板需要使用两片玻璃基板，分别供作底层玻璃基板(TFT)及彩色滤光片(Color Filter)底板。在干刻制程中，由干刻机台设备及腔体提供刻蚀的基本环境，干刻下部电极位于机台上，用于支撑及吸附玻璃，玻璃自身存在结构应力，随着外界温度的变化，热应力也在变化，已发表的研究结果表明，玻璃基板的挠度、等效应力和弯曲应力最大值均出现在中部，玻璃基板较厚时，应力值较小；玻璃基板变薄，应力值增加。随着科学技术的的不断发展，由显示设备提出了超薄诉求，相应的主体结构玻璃厚度也变薄，当更薄的玻璃应运于该类机台时，玻璃中间部分会下垂，导致玻璃破片风险增加。

实用新型内容

本实用新型的目的是解决现有技术存在的问题，提供一种结构布置合理，对玻璃基板支撑性好，防止玻璃破损，提高干刻机台适用性的干刻机台支撑装置。

为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：所提供的这种干刻机台支撑装置，其特征在于：包括设于干刻下部电极板下方的主支撑机构，所述主支撑机构支撑布置支撑在玻璃基板拐角边缘位置，该支撑装置还设有支撑在所述玻璃基板两侧靠近中部位置的中部支撑机构。

为使上述技术方案更加详尽和具体，本实用新型还提供以下更进一步的优选技术方案，以获得满意的实用效果：

所述主支撑机构包括主支撑座，在所述主支撑座上设有支撑所述玻璃基板的主支撑销，所述主支撑座上还设有驱动其运动的驱动件。

所述主支撑座上设有间隔布置的两个主支撑销，分别对应支撑在所述玻璃基板相邻边缘处。

两组相邻的所述主支撑机构形成一组支撑模组，所述支撑装置包括两组对称布置的支撑模组，且每组支撑模组之间均连接一个所述的中部支撑机构。

所述中部支撑机构包括两端分别连接两侧所述主支撑座上的联动横梁。

在所述联动横梁连接中部支撑座，支撑在所述玻璃基板中部的中部支撑销设于所述中部支撑座上，所述中部支撑座连接在所述联动横梁上靠近中部的一侧。

所述主支撑座的中间位置连接有连接块，所述联动横梁的两端通过转动销轴连接在所述连接块上。

所述中部支撑销上套有波纹管。

所述联动横梁支撑在支撑框架内，所述支撑框架固定连接在固定底板上，同一组所述支撑模组支撑在所述固定底板。

所述支撑框架和所述中部支撑座之间设有导向立柱。

本实用新型与现有技术相比，具有以下优点：本实用新型干刻机台支撑装置，结构布置合理，对玻璃基板支撑性好，可有效防止玻璃破损，提高干刻机台适用性，具有较强的实用性和较好的应用前景。

附图说明

下面对本说明书的附图所表达的内容及图中的标记作简要说明：

图1为本实用新型干刻机台支撑装置结构示意图；

图2为本实用新型干刻机台支撑装置结构示意图；

图3为本实用新型干刻机台支撑装置结构示意图；

图4为本实用新型干刻机台支撑装置结构示意图。