[实用新型]一种干刻机台支撑装置有效
| 申请号: | 201921616406.7 | 申请日: | 2019-09-26 |
| 公开(公告)号: | CN210403693U | 公开(公告)日: | 2020-04-24 |
| 发明(设计)人: | 黄艳芳;赵浩;宋微 | 申请(专利权)人: | 芜湖通潮精密机械股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;C03C15/00 |
| 代理公司: | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人: | 方文倩 |
| 地址: | 241000 安徽省芜*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 机台 支撑 装置 | ||
1.一种干刻机台支撑装置,其特征在于:包括设于干刻下部电极板下方的主支撑机构,所述主支撑机构支撑布置支撑在玻璃基板拐角边缘位置,该支撑装置还设有支撑在所述玻璃基板两侧靠近中部位置的中部支撑机构。
2.按照权利要求1所述的干刻机台支撑装置,其特征在于:所述主支撑机构包括主支撑座,在所述主支撑座上设有支撑所述玻璃基板的主支撑销,所述主支撑座上还设有驱动其运动的驱动件。
3.按照权利要求2所述的干刻机台支撑装置,其特征在于:所述主支撑座上设有间隔布置的两个主支撑销,分别对应支撑在所述玻璃基板相邻边缘处。
4.按照权利要求3所述的干刻机台支撑装置,其特征在于:两组相邻的所述主支撑机构形成一组支撑模组,所述支撑装置包括两组对称布置的支撑模组,且每组支撑模组之间均连接一个所述的中部支撑机构。
5.按照权利要求4所述的干刻机台支撑装置,其特征在于:所述中部支撑机构包括两端分别连接两侧所述主支撑座上的联动横梁。
6.按照权利要求5所述的干刻机台支撑装置,其特征在于:在所述联动横梁连接中部支撑座,支撑在所述玻璃基板中部的中部支撑销设于所述中部支撑座上,所述中部支撑座连接在所述联动横梁上靠近中部的一侧。
7.按照权利要求6所述的干刻机台支撑装置,其特征在于:所述主支撑座的中间位置连接有连接块,所述联动横梁的两端通过转动销轴连接在所述连接块上。
8.按照权利要求7所述的干刻机台支撑装置,其特征在于:所述中部支撑销上套有波纹管。
9.按照权利要求6至8任一项所述的干刻机台支撑装置,其特征在于:所述联动横梁支撑在支撑框架内,所述支撑框架固定连接在固定底板上,同一组所述支撑模组支撑在所述固定底板。
10.按照权利要求9所述的干刻机台支撑装置,其特征在于:所述支撑框架和所述中部支撑座之间设有导向立柱。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





