[实用新型]一种减少大面积铜片焊接后变形的装置

说明书

本实用新型涉及一种减少大面积铜片焊接后变形的装置，属于铜片焊接加工技术领域，包括上支撑座、下支撑座、上压板和下压板，所述上压板可拆卸安装在上支撑座的底部，所述上压板设置若干个镂空的网孔，所述上支撑座设置镂空的排气孔，所述网孔与排气孔连通，所述下压板可拆卸安装在下支撑座的顶部，所述上支撑座通过紧固螺丝安装在下支撑座上，所述下压板的上表面中心处设置用于放置铜片的中央凸台，用以解决现有技术中铜片与晶圆焊接易变形、焊接废品率高、焊接效率和焊接质量低的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及一种减少大面积铜片焊接后变形的装置，属于铜片焊接加工技术领域。

背景技术

铜片与晶圆焊接一般是通过锡膏焊接，方法是将锡膏置于铜片与晶圆之间然后放入真空焊接炉进行焊接，但是由于铜片面积比较大且与晶圆的热膨胀系数相差很大，在冷却固化过程中，铜片会朝向晶圆方向弯曲变形，使锡膏向四周扩散，造成铜片与晶圆的中心区域锡膏流失，提高了焊接空洞率；现有技术中为了解决这一技术问题，有时会在晶圆正面上压一块基板进行焊接，虽然可以减少铜片变形的程度，但是还会存在变形现象，并且在焊接过程中基板会受到铜片的应力形成位移，对晶圆造成大面积损伤，造成铜片晶圆焊接的废品率升高，焊接效率和焊接质量降低。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术存在的不足，提供一种减少大面积铜片焊接后变形的装置，用以解决现有技术中铜片与晶圆焊接易变形、焊接废品率高、焊接效率和焊接质量低的技术问题。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种减少大面积铜片焊接后变形的装置，包括上支撑座、下支撑座、上压板和下压板，所述上压板可拆卸安装在上支撑座的底部，所述上压板设置若干个镂空的网孔，所述上支撑座设置镂空的排气孔，所述网孔与排气孔连通，所述下压板可拆卸安装在下支撑座的顶部，所述上支撑座通过紧固螺丝安装在下支撑座上，所述下压板的上表面中心处设置用于放置铜片的中央凸台。

本实用新型的有益效果是：通过设置紧固螺丝安装的上支撑座和下支撑座，同时通过设置上压板和下压板，进而通过紧固螺丝控制上压板和下压板之间的间距，进而降低铜片与晶圆焊接时的变形量，通过紧固螺丝对上压板和下压板之间进行安装，安装过程中上压板的下表面各个点向下运动的速度、压力大小和距离均保持一致，保证上压板对晶圆为垂直下压，不会对晶圆造成大面积损伤，同时也能够保证焊接质量的一致性；通过在上支撑座设置镂空的排气孔及在上压板开设镂空的网孔，有利于焊接时气泡的排出，降低焊接空洞率，提高焊接质量和降低焊接废品率。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

进一步，所述上支撑座的下表面设置上凹槽，所述下支撑座的上表面设置下凹槽，所述上凹槽设置为正向的T型，所述下凹槽设置为倒向的⊥型，所述上压板的两端设置与上凹槽插入配合的上凸台，所述下压板的两端设置与下凹槽插入配合的下凸台。

采用上述进一步方案的有益效果是，通过设置上支撑座的上凹槽与上压板的上凸台插入配合，以及下支撑座的下凹槽与下压板的下凸台插入配合，便于快速安装和拆卸上支撑座与上压板及下支撑座与下压板，方便快捷，省时省力。

进一步，所述上压板和下压板均采用石英材质。

采用上述进一步方案的有益效果是，通过采用石英材质的上压板和下压板，避免焊接过程中对晶圆与铜片造成污染，保证焊接质量。

进一步，所述排气孔设置为圆形，所述网孔设置为方形，所述中央凸台设置为圆形，所述排气孔的直径与中央凸台的直径相同，所述网孔的总面积大于晶圆的面积。

采用上述进一步方案的有益效果是，通过设置排气孔和网孔以及中央凸台的形状与大小，有利于及时排出焊接过程中产生的气泡，降低焊接空洞率。

进一步，所述中央凸台的边缘设置挡边，所述挡边的内径大于铜片的半径，所述挡边的高度小于铜片的厚度。