[实用新型]一种减少大面积铜片焊接后变形的装置

权利要求书

1.一种减少大面积铜片焊接后变形的装置，其特征在于：包括上支撑座、下支撑座、上压板和下压板，所述上压板可拆卸安装在上支撑座的底部，所述上压板设置若干个镂空的网孔，所述上支撑座设置镂空的排气孔，所述网孔与排气孔连通，所述下压板可拆卸安装在下支撑座的顶部，所述上支撑座通过紧固螺丝安装在下支撑座上，所述下压板的上表面中心处设置用于放置铜片的中央凸台。

2.根据权利要求1所述的一种减少大面积铜片焊接后变形的装置，其特征在于：所述上支撑座的下表面设置上凹槽，所述下支撑座的上表面设置下凹槽，所述上凹槽设置为正向的T型，所述下凹槽设置为倒向的⊥型，所述上压板的两端设置与上凹槽插入配合的上凸台，所述下压板的两端设置与下凹槽插入配合的下凸台。

3.根据权利要求2所述的一种减少大面积铜片焊接后变形的装置，其特征在于：所述上压板和下压板均采用石英材质。

4.根据权利要求1所述的一种减少大面积铜片焊接后变形的装置，其特征在于：所述排气孔设置为圆形，所述网孔设置为方形，所述中央凸台设置为圆形，所述排气孔的直径与中央凸台的直径相同，所述网孔的总面积大于晶圆的面积。

5.根据权利要求4所述的一种减少大面积铜片焊接后变形的装置，其特征在于：所述中央凸台的边缘设置挡边，所述挡边的内径大于铜片的半径，所述挡边的高度小于铜片的厚度。