[实用新型]一种用于激光诱导向前转移技术的装夹装置

说明书

本实用新型属于激光应用及印刷电子技术领域，具体涉及一种用于激光诱导向前转移技术的装夹装置，包括弹簧片1、材料基片2、接收基片3、空气吸盘4、竖直位移平台5、侧板6、转接板7和水平位移平台8，其特征是通过在水平位移平台上8搭建带有转接板7、竖直位移平台5、空气吸盘4、弹簧片1和侧板6的装置对材料基片2和接收基片3进行装夹，保证了接收基片3位置的固定和两基片间距的灵活调节，使操作简单化，避免了重复装夹对加工结果的影响。该装置可广泛应用于激光诱导向前转移包括金属、油墨、复合物甚至生物材料在内的各种基质薄膜的工艺中，可以制作出高精度和高分辨率的液滴、金属导线、电路板和微传感器。

技术领域

本实用新型属于激光应用及印刷电子技术领域，具体涉及了一种用于激光诱导向前转移技术的装夹装置。

背景技术

激光诱导向前转移技术是新发展起来的一种激光加工技术，由于其具有快速灵活、加工精度高、成本低廉、适用范围广、绿色环保等诸多特点，因此在各种微电子器件和电路板的制作方面具有广泛的应用前景。激光诱导向前转移是利用激光照射材料基片产生高温高压的等离子体，部分源膜材料在力的推动下转移到接收基片上。在该技术中，材料基片和接收基片的装夹以及两个基片之间的间距都是必须精确控制的因素。

目前相关专利和大部分文献中只是给出了激光诱导向前转移技术的实验装置简图，并没有明确具体的装夹方式。华中科技大学的陈继文在其硕士论文中提出了一种装夹示意图，从上到下分别是夹具顶端、金属原膜片、垫片、接收基片、承重片、夹具底端，在夹具顶端设有开窗透光区，通过固定螺栓连接夹具顶端和夹具底端实现整个装置的固定，该装置虽然简单，但是弊端也非常明显：固定螺栓的拆卸非常麻烦；在更换材料基片、接收基片和调节间距时都需要拆卸整个装置，而在微、纳级别的实验中，无法保证每次装拆的精度完全一样，会对实验结果造成很大影响；同时，使用垫片无法实现材料基片和接收基片之间间距的灵活调节。

实用新型内容

针对现有的激光诱导向前转移装夹装置过于繁琐且精度较低的问题，本实用新型提供一种高精度的、便于操作的装夹装置。该装置可以实现材料基片与接收基片的固定以及两基片之间间距的灵活调节。

本实用新型的技术方案如下：

(1)两块侧板6通过螺钉安装在转接板7上，侧板6顶部均开有螺纹孔，用来安装弹簧片1，材料基片2通过弹簧片1的另一端压紧在两块侧板6上方；

(2)接收基片3通过空气吸盘4固定，空气吸盘4安装在竖直位移平台5上，竖直位移平台精度为0.001mm，最大行程为10mm；

(3)竖直位移平台5为手动平台，通过转接板7安装在水平位移平台8上，水平位移平台精度为0.001mm，最大行程为50mm；

(4)整个装置为一个整体，在实验中都无需拆卸便可调节材料基片2和接收基片3之间的间距，只需移动弹簧片1就可以实现材料基片2和接收基片3的更换。

上述设计的激光诱导向前转移技术的装夹装置可以安装在激光加工平台上，实现微尺寸的三维打印。整套装置不需重复装拆，有效减小重复装夹引起的误差。弹簧片1将更换材料基片2的操作简单化，空气吸盘4保证了在更换材料基片2时不影响接收基片3的位置精度，竖直位移平台5可以灵活调节材料基片2和接收基片3之间的间距。该装置是一种适合激光诱导向前转移技术的装夹装置。

附图说明

图1是用于激光诱导向前转移技术的装夹装置示意图。

附图标记：1.弹簧片，2.材料基片，3.接收基片，4.空气吸盘，5.竖直位移平台，6.侧板，7.转接板，8.水平移动平台。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施做进一步的说明。一种用于激光诱导向前转移技术的装夹装置，工作过程如下：