[实用新型]一种用于激光诱导向前转移技术的装夹装置有效
| 申请号: | 201921610586.8 | 申请日: | 2019-09-25 |
| 公开(公告)号: | CN210826328U | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
| 发明(设计)人: | 王兴盛;徐斌;缪洁良;章剑;黄宇珂 | 申请(专利权)人: | 南京农业大学 |
| 主分类号: | C23C14/28 | 分类号: | C23C14/28;C23C14/50;B33Y40/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 210031 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 激光 诱导 向前 转移 技术 装置 | ||
1.一种用于激光诱导向前转移技术的装夹装置,主要包括:弹簧片(1),材料基片(2),接收基片(3),空气吸盘(4),竖直位移平台(5),侧板(6),转接板(7),水平移动平台(8),其特征是两块侧板(6)通过螺钉安装在转接板(7)上,侧板(6)顶部均开有螺纹孔,用来安装弹簧片(1),材料基片(2)通过弹簧片(1)的另一端压紧在两块侧板(6)上方,接收基片(3)通过空气吸盘(4)固定,空气吸盘(4)安装在竖直位移平台(5)上,竖直位移平台(5)安装在转接板(7)上,整个装夹装置通过转接板(7)安装在水平位移平台8上。
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