[实用新型]一种石墨盘

说明书

本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种石墨盘，用于放置衬底，包括石墨盘本体和转轴，石墨盘本体包括若干用于放置衬底的凹槽，所述凹槽底部连通有中空腔室，相邻的两个中空腔室通过设置气道连通；转轴设置于石墨盘本体中心的下方，转轴外包裹管道，管道与气道连通；还包括抽气装置，所述抽气装置与管道连通，用于将中空腔室、气道和管道中的空气抽出，使得衬底吸附于凹槽的底部。本实用新型降低了离心力对衬底的影响，得到较好均匀性的片源，提高良率。

技术领域

本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种石墨盘， 以减小衬底的翘起角度，改善片源波长的均匀性。

背景技术

发光二极管（英文为Light Emitting Diode，简称LED）是一种固态半导体二极管发光器件，被广泛用于指示灯、显示屏等照明领域。现阶段制取LED晶圆片的方法主要是通过金属有机化合物化学气相沉淀（英文为Metal-organic Chemical Vapor Deposition ，简称MOCVD）实现，可以简述其流程如下：将外延晶圆衬底（如蓝宝石衬底/Si衬底）放入石墨承载盘（Wafer carrier）的凹槽上，将其石墨承载盘一起传入MOCVD 反应室内，通过将反应室温度加热到设定好的温度，并配合通入有机金属化合物和五族气体，使它们在晶圆衬底上断开化学键并重新聚合形成LED外延层。

随着LED的发展，尤其是近几年Mirco LED，Mini LED概念的提出，波长均匀性正变得越来越重要，也因为这个原因，使用低转速生长的Aixtron机台由于均匀性的优势也成为市场中普遍看好的机型，但由于机台的稼动率较低，因此会造成成本的劣势，而在这个方面，美国Veeco公司及国产中微等厂家具备明显的优势。但Veeco机台和中微机台会存在明显的迎风面问题，影响波长均匀性。主要是由于这两种机型均使用高转速（200~1200RPM），当高速旋转时，由于离心力的作用,衬底靠近石墨盘中心的区域会翘起,从而导致该区域温度较低,导致波长偏长,从而导致STD偏差，同时由于衬底翘起，会导致翘起部分受气流影响，产生严重的迎风面波长异常现象。

因此，研究并设计出一种石墨盘是非常有必要的。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种石墨盘，以解决上述背景技术中片源在机台内高速旋转，受离心力的作用导致的翘曲，影响片源均匀性的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种石墨盘，用于放置衬底，包括石墨盘本体和转轴，石墨盘本体包括若干用于放置衬底的凹槽，所述凹槽底部连通有中空腔室，相邻的两个中空腔室通过设置气道连通；转轴设置于石墨盘本体中心的下方，转轴外包裹管道，管道与气道连通；还包括抽气装置，所述抽气装置与管道连通，用于将中空腔室、气道和管道中的空气抽出，使得衬底吸附于凹槽的底部。

优选的，所述石墨盘本体包括上载盘和下载盘，上载盘的顶部设置凹槽，上载盘的底部设置上腔槽；下载盘的顶部设置下腔槽和气道，气道使得相邻的两个下腔槽连通。

优选的，所述上载盘设置在下载盘上，使得上腔槽和下腔槽匹配形成中空腔室。

优选的，所述上载盘和下载盘通过凹孔与固定柱的配合实现可分离式连接。

优选的，所述下载盘底部中心设置槽孔，槽孔处设置转轴。

优选的，所述管道与下载盘之间通过固定卡位固定。

优选的，所述管道包括连通的连接管道和抽气管道，连接管道与气道连通，抽气管道连接至抽气装置。

优选的，所述抽气管道和连接管道为钨管道或者铼管道。

优选的，所述气道和中空腔室内壁设置一层陶瓷层。